वैक्यूम कोटिंग मशीन की प्रक्रिया क्या है? कार्य सिद्धांत क्या है?

वैक्यूम कोटिंगमशीन प्रक्रिया में विभाजित है: वैक्यूम वाष्पीकरण कोटिंग, वैक्यूम स्पटरिंग कोटिंग और वैक्यूम आयन कोटिंग।

1、वैक्यूम वाष्पीकरण कोटिंग

वैक्यूम की स्थिति के तहत, सामग्री को वाष्पित करें, जैसे धातु, धातु मिश्र धातु, आदि, फिर उन्हें सब्सट्रेट सतह पर जमा करें, वाष्पीकरण कोटिंग विधि अक्सर प्रतिरोध हीटिंग का उपयोग करती है, और फिर कोटिंग सामग्री के इलेक्ट्रॉन बीम बमबारी, उन्हें गैस चरण में वाष्पित करें, फिर सब्सट्रेट सतह पर जमा करें, ऐतिहासिक रूप से, वैक्यूम वाष्प जमाव पीवीडी विधि में उपयोग की जाने वाली प्रारंभिक तकनीक है।

2、स्पटरिंग कोटिंग

गैस को (Ar) से भरे वैक्यूम की स्थिति में एक चमक निर्वहन के अधीन किया जाता है, इस समय आर्गन (Ar) परमाणु नाइट्रोजन आयनों (Ar) में आयनित होते हैं, आयन विद्युत क्षेत्र के बल से त्वरित होते हैं, और कैथोड लक्ष्य पर बमबारी करते हैं जो कोटिंग सामग्री से बना होता है, लक्ष्य को बाहर निकाल दिया जाएगा और सब्सट्रेट सतह पर जमा किया जाएगा स्पटर कोटिंग में घटना आयन, आमतौर पर चमक निर्वहन द्वारा प्राप्त होते हैं, 10-2pa से 10Pa की सीमा में होते हैं, इसलिए स्पटर किए गए कण सब्सट्रेट की ओर उड़ते समय वैक्यूम कक्ष में गैस के अणुओं से टकराना आसान होता है, जिससे गति की दिशा यादृच्छिक हो जाती है और जमा फिल्म एक समान होना आसान हो जाता है।

3、आयन कोटिंग

वैक्यूम की स्थिति के तहत, कोटिंग सामग्री परमाणुओं को आयनों में आंशिक रूप से आयनित करने के लिए एक निश्चित प्लाज्मा आयनीकरण तकनीक का उपयोग किया जाता है। उसी समय कई उच्च ऊर्जा वाले तटस्थ परमाणु उत्पन्न होते हैं, जो सब्सट्रेट पर नकारात्मक रूप से पक्षपाती होते हैं। इस तरह, आयन एक पतली फिल्म बनाने के लिए एक गहरी नकारात्मक पूर्वाग्रह के तहत सब्सट्रेट सतह पर जमा होते हैं।