ʻO kaka uhi ʻana i ka ʻūhāUa māhele ʻia ke kaʻina hana mīkini i: ka uhi ʻana i ka hoʻoheheʻe ʻana, ka uhi ʻana o ka sputtering a me ka uhi ʻana i ka ion.
1、Ka uhi hoʻoheheʻe ʻana i ka wai
Ma lalo o ke kūlana vacuum, e hoʻoheheʻe ʻia ka mea, e like me ka metala, ka mea hao, a me nā mea ʻē aʻe a laila e waiho iā lākou ma luna o ka substrate surface, ʻo ke ʻano o ka evaporation coating e hoʻohana pinepine i ka hoʻomehana kū kūʻē, a laila e hoʻoheheʻe ʻia ka electron beam o ka mea i uhi ʻia, e hoʻoheheʻe ʻia i loko o ke kinoea.
2、Sputtering uhi
Hoʻokuʻu ʻia ke kinoea ma lalo o nā kūlana ʻawaʻawa piha (Ar) I kēia manawa ka argon (Ar) atoms i loko o nā ion nitrogen (Ar), ua hoʻolalelale ʻia nā ion e ka ikaika o ke kahua uila, a hoʻopaʻa i ka pahu cathode i hana ʻia me ka mea i uhi ʻia. ka laulā o 10-2pa a hiki i 10Pa， No laila ua maʻalahi nā ʻāpana sputtered e hui pū me nā molekele kinoea i loko o ke keʻena māmā i ka lele ʻana i ka substrate, e hoʻolilo i ke kuhikuhi o ka neʻe ʻana a me ke kiʻi i waiho ʻia e maʻalahi e like.
3、Ka uhi ion
Ma lalo o nā kūlana vacuum, Ma lalo o ke kūlana vacuum, ua hoʻohana ʻia kekahi ʻenehana ionisation plasma e hoʻokaʻawale i nā mea i hoʻopaʻa ʻia i loko o nā ion.
Ka manawa hoʻouna: Mar-23-2023