વેક્યુમ કોટિંગ મશીનની પ્રક્રિયાઓ શું છે? કાર્યકારી સિદ્ધાંત શું છે?

આવેક્યુમ કોટિંગમશીન પ્રક્રિયાને આમાં વિભાજિત કરવામાં આવે છે: વેક્યુમ બાષ્પીભવન કોટિંગ, વેક્યુમ સ્પુટરિંગ કોટિંગ અને વેક્યુમ આયન કોટિંગ.

1, વેક્યુમ બાષ્પીભવન કોટિંગ

શૂન્યાવકાશની સ્થિતિમાં, ધાતુ, ધાતુના મિશ્રણ વગેરે જેવા પદાર્થોને બાષ્પીભવન કરો, પછી તેમને સબસ્ટ્રેટ સપાટી પર જમા કરો, બાષ્પીભવન કોટિંગ પદ્ધતિ ઘણીવાર પ્રતિકાર ગરમીનો ઉપયોગ કરે છે, અને પછી કોટિંગ સામગ્રી પર ઇલેક્ટ્રોન બીમ બોમ્બમારો કરે છે, તેમને ગેસ તબક્કામાં બાષ્પીભવન કરે છે, પછી સબસ્ટ્રેટ સપાટી પર જમા કરે છે, ઐતિહાસિક રીતે, વેક્યુમ વરાળ નિક્ષેપ એ PVD પદ્ધતિમાં વપરાતી પહેલાની તકનીક છે.

2、સ્પટરિંગ કોટિંગ

(Ar) ભરેલી શૂન્યાવકાશ સ્થિતિમાં ગેસ ગ્લો ડિસ્ચાર્જને આધિન છે. આ ક્ષણે આર્ગોન (Ar) અણુઓ આયન નાઇટ્રોજન આયન (Ar) માં ફેરવાય છે. આયનોને ઇલેક્ટ્રિક ક્ષેત્રના બળ દ્વારા ઝડપી બનાવવામાં આવે છે, અને કોટિંગ સામગ્રીથી બનેલા કેથોડ લક્ષ્ય પર બોમ્બમારો કરવામાં આવે છે. લક્ષ્યને સ્પટર કરવામાં આવશે અને સબસ્ટ્રેટ સપાટી પર જમા કરવામાં આવશે. સ્પટર કોટિંગમાં ઘટના આયનો, સામાન્ય રીતે ગ્લો ડિસ્ચાર્જ દ્વારા મેળવવામાં આવે છે, 10-2pa થી 10Pa ની રેન્જમાં હોય છે. તેથી સ્પટર કરેલા કણો સબસ્ટ્રેટ તરફ ઉડતી વખતે વેક્યુમ ચેમ્બરમાં ગેસના અણુઓ સાથે અથડાઈને સરળ બને છે, જેનાથી ગતિની દિશા રેન્ડમ બને છે અને જમા થયેલી ફિલ્મ એકસમાન બને છે.

૩, આયન કોટિંગ

શૂન્યાવકાશની સ્થિતિમાં, શૂન્યાવકાશની સ્થિતિમાં, કોટિંગ સામગ્રીના અણુઓને આંશિક રીતે આયનીકરણ કરવા માટે ચોક્કસ પ્લાઝ્મા આયનીકરણ તકનીકનો ઉપયોગ કરવામાં આવ્યો હતો. તે જ સમયે ઘણા ઉચ્ચ ઉર્જા તટસ્થ અણુઓ ઉત્પન્ન થાય છે, જે સબસ્ટ્રેટ પર નકારાત્મક રીતે પક્ષપાતી હોય છે. આ રીતે, આયનો સબસ્ટ્રેટ સપાટી પર ઊંડા નકારાત્મક પૂર્વગ્રહ હેઠળ જમા થાય છે જેથી પાતળી ફિલ્મ બને.