Ancòmhdach falamhTha pròiseas an inneil air a roinn ann an: còmhdach falmhachaidh falamh, còmhdach sputtering falamh agus còmhdach ian falamh.
1, còmhdach falmhachaidh falamh
Fo chumha falamh, dèan cinnteach gu bheil an stuth air falmhachadh, leithid am meatailt, aloidh meatailt, msaa. agus an uairsin gan cur air uachdar an t-substrate. Bidh an dòigh còmhdach falmhachaidh gu tric a’ cleachdadh teasachadh an aghaidh, agus an uairsin bomadh beam dealanach air an stuth còmhdach, gan toirt gu ìre gasach, agus an uairsin gan cur air uachdar an t-substrate. Gu h-eachdraidheil, b’ e tasgadh falamh-smùid an teicneòlas a chaidh a chleachdadh na bu tràithe ann an dòigh PVD.
2、Còmhdach spùtaidh
Tha an gas fo sgaoileadh gleansach fo chumhachan falamh làn (Ar). Aig an àm seo, bidh na h-ataman argon (Ar) ag atharrachadh gu ianan naitridein (Ar). Bidh na h-ianan air an luathachadh le feachd an achaidh dealain, agus bidh iad a’ bomadh an targaid catod a tha air a dhèanamh den stuth còmhdaich. Thèid an targaid a sputteradh a-mach agus a thasgadh air uachdar an t-substrate. Tha na h-ianan a tha a’ tachairt ann an còmhdach sputter, mar as trice air an lorg le sgaoileadh gleansach, anns an raon 10-2pa gu 10Pa. Mar sin, tha e furasta do na mìrean sputtered bualadh ris na moileciuilean gas anns an t-seòmar falamh nuair a bhios iad ag itealaich a dh’ionnsaigh an t-substrate, a’ dèanamh an stiùireadh gluasad air thuaiream agus am film a tha air a thasgadh furasta a bhith cunbhalach.
3、Còmhdach ian
Fo chumhachan falamh, Fo chumha falamh, thathar a’ cleachdadh dòigh sònraichte ianachaidh plasma gus ataman an stuth còmhdaich a ianachadh gu ìre gu ianan. Aig an aon àm, thèid mòran ataman neodrach àrd-lùtha a thoirt gu buil, a tha claon gu àicheil air an t-substrate. San dòigh seo, thèid ianan a thasgadh air uachdar an t-substrate fo chlaonadh domhainn àicheil gus film tana a chruthachadh.
Àm puist: 23 Màrt 2023