Ansciath folúisTá próiseas an mheaisín roinnte ina: sciath galúcháin folúis, sciath spútarála folúis agus sciath ian folúis.
1, sciath galúcháin folúis
Faoi choinníoll folúis, déantar an t-ábhar a ghalú, amhail an miotal, cóimhiotal miotail, srl. agus ansin é a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit. Is minic a úsáidtear téamh friotaíochta sa mhodh sciath galúcháin, agus ansin buamáil bhíoma leictreon ar an ábhar sciath, rud a fhágann go ngalaítear iad go céim gháis, agus ansin taisctear iad ar dhromchla an tsubstráit. Go stairiúil, ba é an teicneolaíocht is luaithe a úsáideadh sa mhodh PVD ná taisceadh gaile i bhfolús.
2, sciath spútála
Déantar an gás a urscaoileadh lonrach faoi choinníollacha folúis atá líonta le (Ar). Ag an nóiméad seo, déanann na hadaimh argóin (Ar) ian nítrigine (Ar). Luasghéaraíonn fórsa an réimse leictrigh na hiain, agus buaileann siad an sprioc catóide atá déanta as an ábhar sciath. Déanfar an sprioc a spútaradh amach agus a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit. Bíonn na hiain teagmhais sa sciath spútar, a fhaightear de ghnáth trí urscaoileadh lonrach, sa raon 10-2pa go 10Pa. Mar sin, is furasta na cáithníní spútaraithe a imbhualadh leis na móilíní gáis sa seomra folúis agus iad ag eitilt i dtreo an tsubstráit, rud a fhágann go bhfuil an treo gluaiseachta randamach agus go bhfuil an scannán taiscthe aonfhoirmeach.
3. Sciath ian
Faoi choinníollacha folúis, úsáidtear teicníc ianúcháin plasma áirithe chun adaimh an ábhair sciath a ianú go páirteach ina n-ian. Ag an am céanna, táirgtear go leor adaimh neodracha ardfhuinnimh, atá claonta go diúltach ar an tsubstráit. Ar an mbealach seo, déantar iain a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit faoi chlaonadh diúltach domhain chun scannán tanaí a fhoirmiú.
Am an phoist: 23 Márta 2023