DefakuümcoatingIt masineproses is ferdield yn: fakuümferdampingscoating, fakuümsputtercoating en fakuümioncoating.
1, fakuümferdampingscoating
Under fakuümomstannichheden, meitsje it materiaal ferdampt, lykas it metaal, metaallegering, ensfh. en deponearje it dan op it substraatoerflak. De ferdampingscoatingmetoade brûkt faak wjerstânsferwaarming, en dan wurdt it coatingmateriaal mei in elektronenstrielbombardemint ferdampt yn in gasfaze en dan op it substraatoerflak ôfset. Histoarysk sjoen is fakuümdampôfsetting de eardere technology dy't brûkt wurdt yn 'e PVD-metoade.
2. Sputterjende coating
It gas wurdt ûnderwurpen oan in gloeiûntlading ûnder (Ar)-folle fakuümomstannichheden. Op dit stuit wurde de argon (Ar) atomen omset yn stikstofionen (Ar). De ioanen wurde fersneld troch de krêft fan it elektrysk fjild en bombardearje it katodedoel dat makke is fan it coatingmateriaal. It doel wurdt útsputtere en ôfset op it substraatoerflak. Ynfallende ioanen yn sputtercoating, oer it generaal krigen troch gloeiûntlading, lizze yn it berik fan 10-2pa oant 10Pa. Sadwaande kinne de sputterde dieltsjes maklik botsje mei de gasmolekulen yn 'e fakuümkeamer as se nei it substraat fleane, wêrtroch't de bewegingsrjochting willekeurich is en de ôfset film maklik unifoarm is.
3. Ionencoating
Under fakuümomstannichheden wurdt in bepaalde plasma-ionisaasjetechnyk brûkt om de atomen fan it coatingmateriaal foar in part te ionisearjen yn ioanen. Tagelyk wurde in protte neutrale atomen mei hege enerzjy produsearre, dy't negatyf bias hawwe op it substraat. Op dizze manier wurde ioanen ûnder in djippe negative bias op it substraatoerflak ôfset om in tinne film te foarmjen.
Pleatsingstiid: 23 maart 2023