Ycotio gwactodMae proses y peiriant wedi'i rhannu'n: cotio anweddu gwactod, cotio ysbeiddio gwactod a chotio ïon gwactod.
1, Gorchudd anweddu gwactod
O dan yr amod gwactod, gwnewch i'r deunydd anweddu, fel y metel, aloi metel, ac ati, yna ei ddyddodi ar wyneb y swbstrad. Mae'r dull cotio anweddu yn aml yn defnyddio gwresogi gwrthiant, ac yna bomio trawst electron ar y deunydd cotio, gan ei anweddu i'r cyfnod nwy, yna ei ddyddodi ar wyneb y swbstrad. Yn hanesyddol, dyddodiad anwedd gwactod yw'r dechnoleg gynharach a ddefnyddiwyd yn y dull PVD.
2、Cotio chwistrellu
Mae'r nwy yn destun rhyddhau tywynnu o dan amodau gwactod wedi'u llenwi â (Ar). Ar hyn o bryd mae'r atomau argon (Ar) yn troi'n ïonau nitrogen (Ar). Mae'r ïonau'n cael eu cyflymu gan rym y maes trydanol, ac yn peledu'r targed catod sydd wedi'i wneud o'r deunydd cotio. Bydd y targed yn cael ei chwistrellu allan a'i ddyddodi ar wyneb y swbstrad. Mae ïonau digwyddiadol mewn cotio chwistrellu, a geir yn gyffredinol trwy ryddhau tywynnu, yn yr ystod o 10-2pa i 10Pa. Felly mae'n hawdd i'r gronynnau wedi'u chwistrellu wrthdaro â'r moleciwlau nwy yn y siambr wactod wrth hedfan tuag at y swbstrad, gan wneud cyfeiriad y symudiad yn ar hap a'r ffilm a ddyddodir yn unffurf.
3, cotio ïon
O dan amodau gwactod, defnyddiwyd techneg ïoneiddio plasma benodol i ïoneiddio atomau'r deunydd cotio yn rhannol yn ïonau. Ar yr un pryd cynhyrchir llawer o atomau niwtral ynni uchel, sydd â rhagfarn negyddol ar y swbstrad. Yn y modd hwn, mae ïonau'n cael eu dyddodi ar wyneb y swbstrad o dan ragfarn negyddol ddofn i ffurfio ffilm denau.
Amser postio: Mawrth-23-2023