Unsa ang mga proseso sa vacuum coating machine? Unsa ang prinsipyo sa pagtrabaho?

Angvacuum nga sapawAng proseso sa makina gibahin sa: vacuum evaporation coating, vacuum sputtering coating ug vacuum ion coating.

1, Vacuum evaporation coating

Ubos sa vacuum nga kondisyon, himoa nga ang materyal nga evaporate, sama sa metal, metal nga haluang metal, ug uban pa unya ibutang kini sa substrate surface, ang evaporation coating method sagad nga gigamit ang resistance heating, ug dayon ang electron beam bombardment sa coating material, himoa kini nga evaporate ngadto sa gas phase, unya ibutang sa substrate surface, sa kasaysayan, ang vacuum vapor deposition mao ang naunang pamaagi nga gigamit sa PVD nga teknolohiya.

2, Sputtering sapaw

Ang gas gipailalom sa usa ka glow discharge ubos sa (Ar) -filled vacuum nga mga kondisyon Niini nga higayona ang argon (Ar) atoms ion ngadto sa nitrogen ions (Ar), Ang mga ion gipadali pinaagi sa kusog sa electric field, ug gibombahan ang cathode target nga gihimo sa coating nga materyal, ang target ma-sputtered ug ibutang sa ibabaw sa substrate nga nagsanag, ang mga sputter coating sa kinatibuk-an. range sa 10-2pa ngadto sa 10Pa，Mao nga ang mga sputtered nga mga partikulo dali nga makabangga sa mga molekula sa gas sa vacuum chamber kung naglupad padulong sa substrate, nga naghimo sa direksyon sa paglihok nga random ug ang gitago nga pelikula dali nga mahimong uniporme.

3. Ion nga taklap

Ubos sa vacuum nga kondisyon, Ubos sa vacuum nga kondisyon, Gigamit ang usa ka teknik sa plasma ionization aron partially ionise ang coating nga mga atomo sa materyal ngadto sa mga ions. Sa samang higayon daghang mga high energy neutral atoms ang gihimo, nga negatibo nga bias sa substrate. Sa niini nga paagi, ang mga ion gibutang sa ibabaw sa substrate ubos sa lawom nga negatibo nga bias aron maporma ang usa ka nipis nga pelikula.