Koji su procesi mašine za vakuumsko nanošenje premaza? Koji je princip rada?

Thevakuumsko premazivanjeMašinski proces se dijeli na: vakuumsko isparavanje, vakuumsko raspršivanje i vakuumsko jonsko nanošenje.

1, Premaz vakuumskim isparavanjem

Pod vakuumom, materijal, kao što je metal, metalna legura itd., isparava se, a zatim se taloži na površinu podloge. Metoda isparavanja često koristi otporno zagrijavanje, a zatim bombardiranje elektronskim snopom materijala premaza, čime se materijal isparava u plinovitu fazu, a zatim se taloži na površinu podloge. U prošlosti je vakuumsko taloženje parom bila ranija tehnologija korištena u PVD metodi.

2, Premaz raspršivanjem

Plin se podvrgava tlinjavom pražnjenju pod uvjetima vakuuma ispunjenog (Ar). U ovom trenutku atomi argona (Ar) se pretvaraju u dušikove ione (Ar). Ioni se ubrzavaju silom električnog polja i bombardiraju katodnu metu koja je napravljena od materijala premaza. Meta će biti raspršena i taložena na površini supstrata. Upadni ioni u raspršenom premazu, obično dobivenom tlinjavim pražnjenjem, su u rasponu od 10-2 Pa do 10 Pa. Tako da se raspršene čestice lako sudaraju s molekulama plina u vakuumskoj komori kada lete prema supstratu, čineći smjer kretanja nasumičnim, a taloženi film lako ujednačenim.

3, Ionski premaz

Pod vakuumskim uslovima, pod vakuumskim uslovima, korištena je određena tehnika plazma jonizacije za djelimičnu jonizaciju atoma materijala premaza u jone. Istovremeno se proizvode mnogi neutralni atomi visoke energije, koji su negativno polarizirani na podlozi. Na taj način, joni se talože na površini podloge pod dubokim negativnim naponom i formiraju tanki film.