দ্যভ্যাকুয়াম আবরণমেশিন প্রক্রিয়াটি বিভক্ত: ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন আবরণ, ভ্যাকুয়াম স্পুটারিং আবরণ এবং ভ্যাকুয়াম আয়ন আবরণ।
১, ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন আবরণ
ভ্যাকুয়াম অবস্থায়, ধাতু, ধাতুর সংকর ধাতু ইত্যাদির মতো উপাদানগুলিকে বাষ্পীভূত করে সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে জমা করা হয়, বাষ্পীভবন আবরণ পদ্ধতিতে প্রায়শই প্রতিরোধী উত্তাপ ব্যবহার করা হয়, এবং তারপর আবরণ উপাদানের উপর ইলেকট্রন রশ্মি বোমাবর্ষণ করা হয়, যা তাদেরকে গ্যাস পর্যায়ে বাষ্পীভূত করে, তারপর সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে জমা করে, ঐতিহাসিকভাবে, ভ্যাকুয়াম বাষ্প জমা হল PVD পদ্ধতিতে ব্যবহৃত পূর্ববর্তী প্রযুক্তি।
2, স্পটারিং লেপ
(Ar)-ভরা ভ্যাকুয়াম অবস্থার অধীনে গ্যাসটি একটি আভা স্রাবের শিকার হয়। এই মুহুর্তে আর্গন (Ar) পরমাণু আয়ন নাইট্রোজেন আয়ন (Ar) তে রূপান্তরিত হয়। বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের বল দ্বারা আয়নগুলি ত্বরান্বিত হয় এবং আবরণ উপাদান দিয়ে তৈরি ক্যাথোড লক্ষ্যবস্তুতে বোমাবর্ষণ করে। লক্ষ্যবস্তুটি ছিটিয়ে সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে জমা হবে। স্পটার লেপে ইনসিডেন্ট আয়নগুলি, সাধারণত গ্লো ডিসচার্জ দ্বারা প্রাপ্ত, 10-2pa থেকে 10Pa এর মধ্যে থাকে। তাই স্পটার করা কণাগুলি সাবস্ট্রেটের দিকে উড়ে যাওয়ার সময় ভ্যাকুয়াম চেম্বারের গ্যাস অণুগুলির সাথে সংঘর্ষ করা সহজ, গতির দিকটি এলোমেলো করে এবং জমা হওয়া ফিল্মটি অভিন্ন হওয়া সহজ করে তোলে।
৩, আয়ন আবরণ
ভ্যাকুয়াম অবস্থায়, ভ্যাকুয়াম অবস্থায়, আবরণ উপাদানের পরমাণুগুলিকে আংশিকভাবে আয়নীকরণের জন্য একটি নির্দিষ্ট প্লাজমা আয়নীকরণ কৌশল ব্যবহার করা হয়। একই সময়ে অনেক উচ্চ শক্তির নিরপেক্ষ পরমাণু তৈরি হয়, যা সাবস্ট্রেটের উপর নেতিবাচকভাবে পক্ষপাতী হয়। এইভাবে, আয়নগুলি একটি গভীর নেতিবাচক পক্ষপাতের অধীনে সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে জমা হয় এবং একটি পাতলা ফিল্ম তৈরি করে।
পোস্টের সময়: মার্চ-২৩-২০২৩