Thevakuum örtükmaşın prosesi bölünür: vakuum buxarlanma örtüyü, vakuum püskürtmə örtüyü və vakuum ion örtüyü.
1、Vakuum buxarlanma örtüyü
Vakuum şəraitində, materialın buxarlanmasını təmin edin, məsələn, metal, metal ərintisi və s. sonra onları substratın səthinə qoyun, buxarlanma ilə örtülmə üsulu tez-tez müqavimətli istilikdən istifadə edir və sonra örtük materialının elektron şüası ilə bombardman edilir, onları qaz fazasına buxarlandırır, sonra substratın səthinə çökdürün.
2, Püskürtmə örtüyü
Qaz (Ar) ilə dolu vakuum şəraitində parıldayan boşalmaya məruz qalır. Bu anda arqon (Ar) atomları azot ionlarına (Ar) ion edir, ionlar elektrik sahəsinin qüvvəsi ilə sürətlənir， və örtük materialından hazırlanmış katod hədəfini bombalayır, hədəf səpilir və substratın səthinə səpilir. parıldayan boşalma ilə, 10-2pa ilə 10Pa aralığındadır，Beləliklə, püskürən hissəciklər substrata doğru uçarkən vakuum kamerasındakı qaz molekulları ilə asanlıqla toqquşur, hərəkət istiqamətini təsadüfi edir və yığılmış filmin vahid olmasını asanlaşdırır.
3、İon örtük
Vakuum şəraitində, Vakuum şəraitində, örtük materialının atomlarını ionlara qismən ionlaşdırmaq üçün müəyyən plazma ionlaşdırma texnikasından istifadə olunur. Eyni zamanda, substratda mənfi meylli olan bir çox yüksək enerjili neytral atomlar istehsal olunur.
Göndərmə vaxtı: 23 mart 2023-cü il