ما هي عمليات آلة طلاء الفراغ؟ ما هو مبدأ عملها؟

الطلاء الفراغتنقسم عملية الآلة إلى: طلاء التبخر الفراغي، وطلاء الرش الفراغي، وطلاء الأيون الفراغي.

1. طلاء التبخير الفراغي

في ظل ظروف الفراغ، يتم تبخر المواد، مثل المعدن، وسبائك المعادن، وما إلى ذلك، ثم ترسبها على سطح الركيزة، وغالبًا ما تستخدم طريقة طلاء التبخر التسخين بالمقاومة، ثم قصف مادة الطلاء بشعاع الإلكترون، مما يجعلها تتبخر إلى الطور الغازي، ثم ترسبها على سطح الركيزة، تاريخيًا، كانت الترسيب البخاري الفراغي هي التقنية السابقة المستخدمة في طريقة PVD.

2. طلاء الرش

يتعرض الغاز لتفريغ متوهج تحت ظروف الفراغ المملوءة بـ (Ar) في هذه اللحظة تتحول ذرات الأرجون (Ar) إلى أيونات النيتروجين (Ar)، وتتسارع الأيونات بقوة المجال الكهربائي، وتقصف هدف الكاثود المصنوع من مادة الطلاء، وسيتم رش الهدف وترسيبه على سطح الركيزة. تتراوح الأيونات الساقطة في طلاء الرش، والتي يتم الحصول عليها عمومًا عن طريق التفريغ المتوهج، في نطاق 10-2 باسكال إلى 10 باسكال، وبالتالي فإن الجسيمات المرشوشة من السهل أن تصطدم بجزيئات الغاز في غرفة التفريغ عند الطيران نحو الركيزة، مما يجعل اتجاه الحركة عشوائيًا والفيلم المترسب من السهل أن يكون موحدًا.

3. طلاء الأيونات

في ظل ظروف الفراغ، يتم استخدام تقنية تأين البلازما معينة لتأين ذرات مادة الطلاء جزئيًا إلى أيونات. في الوقت نفسه يتم إنتاج العديد من الذرات المحايدة عالية الطاقة، والتي تكون متحيزة سلبًا على الركيزة. بهذه الطريقة، يتم ترسيب الأيونات على سطح الركيزة تحت تحيز سلبي عميق لتشكيل فيلم رقيق.