የቫኩም ሽፋን ማሽን ሂደቶች ምንድ ናቸው? የሥራው መርህ ምንድን ነው?

የየቫኩም ሽፋንየማሽን ሂደት የተከፋፈለ ነው: ቫክዩም ትነት ሽፋን, ቫክዩም sputtering ሽፋን እና ቫክዩም ion ሽፋን.

1, የቫኩም ትነት ሽፋን

በቫኪዩም ሁኔታ ውስጥ ቁሱ እንዲተን ያድርጉ ፣ እንደ ብረት ፣ ብረት ውህድ ፣ ወዘተ ... ከዚያም በንጣፉ ወለል ላይ ያስቀምጧቸው ፣ የትነት ሽፋን ዘዴው ብዙውን ጊዜ የመቋቋም ማሞቂያ ይጠቀማል ፣ ከዚያም የኤሌክትሮን ጨረር ቦምብ የንጣፉን ቁሳቁስ ወደ ጋዝ ደረጃ እንዲለቁ ያድርጓቸው ፣ ከዚያ በመሬቱ ወለል ላይ ያስቀምጡ ፣ በታሪካዊ ፣ የቫኩም ትነት ዘዴ በ PVD ውስጥ ጥቅም ላይ የዋለው ቀደምት ቴክኖሎጂ ነው።

2, የሚረጭ ሽፋን

ጋዙ በ (አር) በተሞሉ የቫኩም ሁኔታዎች ውስጥ ለብርሃን ፍሰት ይጋለጣል በዚህ ጊዜ አርጎን (አር) አተሞች ion ወደ ናይትሮጂን ions (አር) ያመነጫል ፣ ionዎቹ በኤሌክትሪክ መስክ ኃይል ይጣመራሉ እና ከሽፋኑ ቁሳቁስ የተሰራውን የካቶድ ኢላማውን ይደበድባሉ ፣ ዒላማው ይረጫል እና በመሬቱ ወለል ላይ ይቀመጣል ። 10-2pa እስከ 10Pa፣ስለዚህ የሚረጩት ቅንጣቶች በቫኩም ክፍል ውስጥ ካሉት የጋዝ ሞለኪውሎች ጋር በቀላሉ ወደ ተተኳሪው በሚበሩበት ጊዜ የእንቅስቃሴ አቅጣጫውን በዘፈቀደ እና የተከማቸ ፊልም ቀላል እንዲሆን ያደርገዋል።

3, ion ሽፋን

በቫኪዩም ሁኔታዎች ውስጥ ፣ በቫኩም ሁኔታ ፣ የተወሰነ የፕላዝማ ionisation ቴክኒኮችን በመጠቀም የሽፋኑን ንጥረ ነገር አተሞች ወደ ionዎች በከፊል ionize ያደርጋሉ ። በተመሳሳይ ጊዜ ብዙ ከፍተኛ ኃይል ገለልተኛ አተሞች ይመረታሉ ፣ እነሱም በመሠረት ላይ አሉታዊ ተጽዕኖ ያሳድራሉ ።