၁။ အခေါင်းပါ ကက်သုတ်အိုင်းယွန်းအပေါ်ယံလွှာစက်နှင့် ပူသောဝါယာကြိုး အာ့ခ်အိုင်းယွန်းအပေါ်ယံလွှာစက်
အခေါင်းပါ ကက်သုတ်သေနတ်နှင့် ပူသောဝါယာကြိုး အာ့ခ်သေနတ်ကို အပေါ်ယံလွှာအခန်း၏ထိပ်တွင် တပ်ဆင်ထားပြီး အန်နုတ်ကို အောက်ခြေတွင် တပ်ဆင်ထားကာ အပေါ်ယံလွှာအခန်း၏ အပြင်ဘက်အစွန်အဖျား၏ အပေါ်နှင့်အောက်ခြေတွင် လျှပ်စစ်သံလိုက်ကွိုင်နှစ်ခု တပ်ဆင်ထားသည်။ ခရုပတ်လမ်းကြောင်းရွေ့လျားမှုအတွက် အာ့ခ်အလင်းအီလက်ထရွန်သည် အပေါ်မှအောက်ခြေသို့ စီးဆင်းသည်။
၂။ သေးငယ်သော စက်ဝိုင်းပုံ ကက်သုတ် အာ့ခ် အရင်းအမြစ်၏ အမြဲတမ်းသံလိုက်နှင့် လျှပ်စစ်သံလိုက်ထိန်းချုပ်မှု
လျှပ်စစ်သံလိုက်ကွိုင်သည် ပစ်မှတ်၏ စက်ဝန်းတွင် လည်ပတ်လှုပ်ရှားမှုပြုလုပ်ရန် arc spot ကို အရှိန်မြှင့်ပေးပြီး၊ ၎င်းသည် ပစ်မှတ်မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် arc spot တည်ရှိချိန်ကို လျှော့ချပေးကာ၊ အရည်ပျော်နေသော ရေကန်၏ ဧရိယာကို လျော့ကျစေပြီး ဖလင်အလွှာဖွဲ့စည်းပုံကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေသည်။
၃။ နှစ်ထပ်လျှပ်စစ်သံလိုက်ထိန်းချုပ်မှုကက်သိုဒစ်အာ့ခ်ရင်းမြစ်
ကက်သိုဒစ် အာ့ခ် အရင်းအမြစ်တွင် အီလက်ထရွန် ကွိုင်နှစ်ခု တပ်ဆင်ထားပြီး ၎င်းသည် အီလက်ထရွန် စီးဆင်းမှု၏ လည်ပတ်မှုအမြန်နှုန်းကို မြှင့်တင်ပေးပြီး ဖလင်အလွှာဖွဲ့စည်းပုံကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေသည်။
၄။ မဂ္ဂနက်ထရွန် ဆိုက်ကလိုထရွန် PECVD
အီလက်ထရွန်များလည်ပတ်စေရန်အတွက် DC PECVD အပေါ်ယံလွှာအခန်း၏ အပြင်ဘက်တွင် လျှပ်စစ်သံလိုက်ကွိုင်နှစ်ခု တပ်ဆင်ထားပြီး ၎င်းသည် အီလက်ထရွန်များနှင့် ဓာတ်ငွေ့အကြား တိုက်မိနိုင်ခြေကို တိုးစေပြီး ဖလင်အလွှာရှိ အမှုန်များ၏ ပြိုကွဲမှုနှုန်းကို မြှင့်တင်ပေးသည်။
၅။ ECR မိုက်ခရိုဝေ့ဖ် PECVD
အပေါ်နှင့်အောက်ကို လျှပ်စစ်သံလိုက်ကွိုင်နှစ်ခုဖြင့် တပ်ဆင်ထားသော အပြင်ဘက်ရှိ အပေါ်နှင့်အောက်ကို အပေါ်ယံလွှာအခန်းတွင် ပြိုကွဲမှုနှုန်းကို မြှင့်တင်ပေးနိုင်သည်။
၆။ အာ့ခ်အလင်းထုတ်လွှတ်မှု PECVD
အပေါ်နှင့်အောက်ရှိ arc discharge PECVD ပစ္စည်းကိရိယာများအပေါ်ယံလွှာအခန်းတွင် electromagnetic coil နှစ်ခုတပ်ဆင်ခြင်း၊ စိန်ဖလင်အလွှာစုခြင်း၊ coaxial electromagnetic field ကို arc electron စီးဆင်းမှုဖြင့် လှည့်ပတ်နိုင်ပြီး hydrocarbons ၏ gas ionization ကိုလှုံ့ဆော်ပေးပါသည်။
- ဤဆောင်းပါးကို ထုတ်ဝေသူဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာစက်ထုတ်လုပ်သူGuangdong Zhenhua
ပို့စ်တင်ချိန်: အောက်တိုဘာ ၂၄၊ ၂၀၂၃