1. Masini ufiufi ion cathode gaogao ma masini ufiufi ion arc uaea vevela
O le fana cathode gaogao ma le fana arc uaea vevela ua fa'apipi'i i le pito i luga o le potu ufiufi, o le anode ua fa'apipi'i i le pito i lalo, ma ua fa'apipi'i ni uaea eletise e lua i le pito i luga ma le pito i lalo o le pito i fafo o le potu ufiufi. E tafe mai le eletise malamalama arc mai luga i lalo e fai ai le gaioiga o le laina fa'ata'amilomilo.
2. Maneta tumau fa'atasi ai ma le pulea eletise o le tama'i puna o le cathode arc lapotopoto
E fa'avavevaveina e le uaea eletise le arc spot e fai ai le gaioiga fa'ata'amilomilo i le li'o o le sini, lea e fa'aitiitia ai le taimi e nofo ai le arc spot i luga o le fogaeleele o le sini, fa'aitiitia ai le lautele o le vai ua liusuavai ma fa'aleleia atili ai le fa'atulagaga o le vaega ata.
3. Pulea eletise lua o le puna o le arc cathodic
O le puna o le arc cathodic ua faʻapipiʻiina i ni uaea eletise e lua, lea e faʻaleleia atili ai le saoasaoa o le faʻataʻamilosaga o le tafe o le eletise ma faʻaleleia atili ai le faʻatulagaga o le vaega o le ata tifaga.
4.Magnetron Cyclotron PECVD
E lua uaea eletise eletise ua fa'apipi'iina i fafo atu o le potu ufiufi DC PECVD e fa'ata'amilo ai eletise, lea e fa'ateleina ai le avanoa e feto'ai ai eletise ma le kesi, ma fa'aleleia atili ai le fua fa'atatau o le vavae'eseina o vaega i le vaega o le ata tifaga.
5.ECR Maikoloveve PECVD
I totonu o le potu ufiufi i fafo o loʻo faʻapipiʻiina ai le pito i luga ma le pito i lalo ma ni uaea eletise se lua, e mafai ona faʻaleleia atili ai le fua faatatau o le vavaeeseina.
6. Fa'amamāina o le Malamalama o le Arc PECVD
I totonu o le potu ufiufi o le masini PECVD e fa'asa'oloto ai le arc i luga ma lalo o le fa'apipi'iina o ni coil eletise se lua, ma fa'apipi'i ai le ata tifaga taimane, e mafai ona fa'ata'amilomilo le tafe o le eletise arc i le fanua eletise coaxial e fa'aosofia ai le ionization o le kesi o hydrocarbons.
–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua
Taimi na lafoina ai: Oke-24-2023