1. Mīhini paninga katote katote tuwhera me te mīhini paninga katote pewa waea wera
Kei te tihi o te rūma paninga te pū katote tuwhera me te pū pewa waea wera, kei raro te anode, ā, e rua ngā koiri hikohiko kei te tihi me te raro o te taha o te rūma paninga. Ka rere te irahiko marama pewa mai i runga ki raro hei mahi i te nekehanga porowhita.
2. Aukume tuturu me te mana hikohiko o te pūtake pewa katote porowhita iti
Ka whakaterea e te koiri hikohiko te wāhi pewa kia huri ai i te porowhita o te ūnga, ka whakaitihia te wā noho o te wāhi pewa ki te mata o te ūnga, ka whakaitihia te horahanga o te puna rewa, ā, ka whakapai ake i te whakaritenga o te paparanga kiriata.
3. Pūtake pewa cathodic mana hikohiko takirua
E rua ngā koiri hikohiko o te pūtake pewa katote, e whakapai ake ana i te tere hurihuri o te rere o te irahiko, ā, e whakapai ake ana hoki i te whakaritenga o te paparanga kiriata.
4.Magnetron Cyclotron PECVD
E rua ngā koiri hikohiko kua tāutahia ki waho o te rūma paninga PECVD DC hei huri i ngā irahiko, ka whakanui ake i te tūponotanga o te tukinga i waenga i ngā irahiko me te hau, ā, ka whakapai ake i te tere wetewete o ngā matūriki i roto i te paparanga kiriata.
5.ECR Ngaruiti PECVD
I roto i te rūma paninga i waho, kua whakauruhia te taha o runga me raro me ngā koiri hiko e rua, ka taea te whakapai ake i te tere wehewehe.
6. Te Tukunga Mārama Āwhata PECVD
I roto i te rūma paninga taputapu PECVD tukunga pewa huri noa i te tāutanga o runga me raro o ngā koiri hikohiko e rua, te whakatakotoranga o te kiriata taimana, ka taea te huri i te rere o te irahiko pewa ki te whakaoho i te ionization hau o ngā warowaihā.
–Nā tekaihanga mīhini paninga korehauGuangdong Zhenhua
Wā tuku: Oketopa-24-2023