1. Mochini o koahelang ion oa cathode o se nang letho le mochini o koahelang ion oa arc oa terata e chesang
Sethunya sa cathode se se nang letho le sethunya sa arc sa terata e chesang li kentsoe holimo ho kamore ea ho koahela, anode e kentsoe tlase, 'me ho kentsoe likhoele tse peli tsa electromagnetic holimo le tlase ho kamore ea ho koahela. Elektrone ea leseli la arc e phalla ho tloha holimo ho ea tlase ho etsa motsamao oa mola o potolohang.
2. Matlaka-khoela a sa feleng hammoho le taolo ea motlakase ea mohloli o monyenyane oa selikalikoe oa cathode arc
Khoele ea motlakase e potlakisa sebaka sa arc ho etsa motsamao o potolohang selikalikoeng sa sepheo, e leng se fokotsang nako ea bolulo ba sebaka sa arc holim'a sepheo, se fokotsa sebaka sa letamo le qhibilihisitsoeng le ho ntlafatsa tlhophiso ea lera la filimi.
3. Taolo ea motlakase ea cathodic arc e habeli mohloling
Mohloli oa arc ea cathodic o na le likhoele tse peli tsa motlakase, tse ntlafatsang lebelo la ho potoloha ha phallo ea elektrone le ho ntlafatsa tlhophiso ea lera la filimi.
4. Magnetron Cyclotron PECVD
Ho kentswe dikhoele tse pedi tsa motlakase ka ntle ho kamore ya ho kwahela ya DC PECVD ho etsa hore dielektrone di potolohe, e leng se eketsang kgonahalo ya ho thulana pakeng tsa dielektrone le kgase, mme se ntlafatsa sekgahla sa ho arohana ha dikarolwana tse ka hara lera la filimi.
5.ECR Microwave PECVD
Ka kamoreng e ka ntle e nang le likhoele tse peli tsa motlakase tse kentsoeng ka holimo le ka tlase, e ka ntlafatsa sekhahla sa karohano.
6. PECVD ea ho ntša leseli la arc
Kamoreng ea ho koahela ea lisebelisoa tsa PECVD ea arc e potolohileng ho kenngoa ha likhoele tse peli tsa electromagnetic tse kaholimo le tse ka tlase, ho kenngoa ha filimi ea daemane, tšimo ea electromagnetic ea coaxial e ka potoloha phallo ea elektrone ea arc ho hlohlelletsa ionization ea khase ea li-hydrocarbon.
–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Mphalane-24-2023