1. Máquina de recubrimiento iónico de cátodo hueco y máquina de recubrimiento iónico de arco de alambre caliente
El cañón de cátodo hueco y el cañón de arco de alambre caliente están instalados en la parte superior de la cámara de recubrimiento, el ánodo está instalado en la parte inferior, y dos bobinas electromagnéticas están instaladas en la parte superior e inferior del perímetro de la cámara de recubrimiento. Los electrones del arco eléctrico fluyen de arriba hacia abajo, describiendo un movimiento en espiral.
2. Imán permanente más control electromagnético de la pequeña fuente de arco catódico circular.
La bobina electromagnética acelera el punto del arco eléctrico para que realice un movimiento rotatorio en la circunferencia del objetivo, lo que reduce el tiempo de permanencia del punto del arco en la superficie del objetivo, disminuye el área del baño de fusión y refina la organización de la capa de película.
3. Fuente de arco catódico de control electromagnético dual
La fuente de arco catódico está equipada con dos bobinas electromagnéticas, lo que mejora la velocidad de rotación del flujo de electrones y refina la organización de la capa de película.
4. Magnetrón Ciclotrón PECVD
En el exterior de la cámara de recubrimiento DC PECVD se instalan dos bobinas electromagnéticas para hacer girar los electrones, lo que aumenta la probabilidad de colisión entre los electrones y el gas, y mejora la tasa de disociación de las partículas en la capa de película.
5.ECR Microwave PECVD
En la cámara de recubrimiento exterior, se instalaron dos bobinas electromagnéticas, una superior y otra inferior, para mejorar la tasa de disociación.
6. Descarga de arco eléctrico PECVD
En la cámara de recubrimiento del equipo de descarga de arco PECVD, alrededor de la instalación superior e inferior de dos bobinas electromagnéticas, se deposita una película de diamante. El campo electromagnético coaxial puede hacer girar el flujo de electrones del arco para estimular la ionización de los hidrocarburos gaseosos.
–Este artículo es publicado porfabricante de máquinas de recubrimiento al vacíoGuangdong Zhenhua
Fecha de publicación: 24 de octubre de 2023