1. Катоди ион каплау машинасы һәм кайнар чыбыклы дугалы ион каплау машинасы
Каплау камерасының өске өлешенә куыш катодлы мылтык һәм кайнар чыбыклы дугалы мылтык урнаштырылган, аскы өлешенә анод урнаштырылган, ә каплау камерасы перифериясенең өске һәм аскы өлешенә ике электромагнит спираль урнаштырылган. Дугалы яктылык электроннары өстән аска таба спираль сызык хәрәкәте ясый.
2. Даими магнит һәм кечкенә түгәрәк катод дугасы чыганагын электромагнит контрольдә тоту
Электромагнит катушка дуга ноктасын тизләтеп, максат тирәсендә әйләнү хәрәкәтен ясый, бу дуга ноктасының максат өслегендә тору вакытын киметә, эретелгән күл мәйданын киметә һәм пленка катламының оештырылуын яхшырта.
3. Ике электромагнит контроль катод дуга чыганагы
Катод дуга чыганагы ике электромагнит катушка белән җиһазландырылган, бу электрон агымының әйләнү тизлеген яхшырта һәм пленка катламы оешмасын камилләштерә.
4.Магнетрон циклотрон PECVD
Электроннарның әйләнүен тәэмин итү өчен DC PECVD каплау камерасы тышына ике электромагнит спираль урнаштырылган, бу электроннар һәм газ арасындагы бәрелү ихтималын арттыра һәм пленка катламындагы кисәкчәләрнең диссоциация тизлеген яхшырта.
5.ECR Микродулкынлы PECVD
Тышкы каплау камерасында өске һәм аскы өлешләргә ике электромагнит катушка урнаштырылган, бу диссоциация тизлеген яхшыртырга мөмкин.
6. Дугалы яктылык разрядлавы PECVD
Дуга разрядындагы PECVD җиһазларының өске һәм аскы каплау камерасында ике электромагнит катушка урнаштырылган, алмаз пленкасы урнаштырылган, коаксиаль электромагнит кырында углеводородларның газ ионлашуын стимуллаштыру өчен дуга электрон агымын әйләндерергә мөмкин.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2023 елның 24 октябре