1. Қуыс катодты ионды жабын машинасы және ыстық сым доғалы ионды жабын машинасы
Қуыс катодты мылтық және ыстық сым доғалы мылтық жабын камерасының жоғарғы жағына, анод төменгі жағына, ал жабын камерасының шеткі бөлігінің жоғарғы және төменгі жағына екі электромагниттік катушка орнатылған. Доғалы жарық электрондары спиральды сызықты қозғалыс жасау үшін жоғарыдан төмен қарай ағады.
2. Тұрақты магнит плюс шағын дөңгелек катодты доға көзінің электромагниттік басқаруы
Электромагниттік катушка нысана шеңберінде айналмалы қозғалыс жасау үшін доға дақтарын жеделдетеді, бұл доға дақтарының нысана бетінде болу уақытын қысқартады, балқытылған бассейннің ауданын азайтады және қабықша қабатының ұйымдастырылуын жақсартады.
3. Қос электромагниттік басқару катодтық доға көзі
Катодтық доға көзі екі электромагниттік катушкамен жабдықталған, бұл электрон ағынының айналу жылдамдығын жақсартады және пленка қабатының ұйымдастырылуын жақсартады.
4. Магнетронды циклотрон PECVD
Электрондардың айналуын қамтамасыз ету үшін тұрақты ток PECVD жабын камерасының сыртына екі электромагниттік катушка орнатылған, бұл электрондар мен газ арасындағы соқтығысу ықтималдығын арттырады және пленка қабатындағы бөлшектердің диссоциациялану жылдамдығын жақсартады.
5.ECR микротолқынды пеш PECVD
Сыртқы жабын камерасында екі электромагниттік катушкалармен жоғарғы және төменгі бөліктерге орнатылған, бұл диссоциациялану жылдамдығын жақсарта алады.
6. Доғалық жарық разряды PECVD
Доғалық разряд PECVD жабдығының жоғарғы және төменгі қондырғысының айналасындағы жабын камерасында екі электромагниттік катушкалар орналастырылады, гауһар пленка қойылады, коаксиалды электромагниттік өрісте көмірсутектердің газ иондалуын ынталандыру үшін доғалық электрон ағынын айналдыруға болады.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 24 қазан