1. Boş katod ion örtük maşını və isti məftil qövs ion örtük maşını
Boş katod silahı və isti məftil qövs silahı örtük kamerasının yuxarı hissəsində, anod alt hissəsində, iki elektromaqnit rulon isə örtük kamerasının periferiyasının yuxarı və aşağı hissəsində quraşdırılıb. Qövs işığının elektronu spiral xətt hərəkəti etmək üçün yuxarıdan aşağıya doğru axır.
2. Daimi maqnit və kiçik dairəvi katod qövs mənbəyinin elektromaqnit nəzarəti
Elektromaqnit spiral, hədəfin ətrafında fırlanan hərəkət etmək üçün qövs nöqtəsini sürətləndirir ki, bu da qövs nöqtəsinin hədəf səthində qalma müddətini azaldır, əridilmiş hovuzun sahəsini azaldır və film təbəqəsinin təşkilini təkmilləşdirir.
3. İkiqat elektromaqnit idarəetmə katodik qövs mənbəyi
Katod qövs mənbəyi iki elektromaqnit rulonla təchiz olunmuşdur ki, bu da elektron axınının fırlanma sürətini artırır və film təbəqəsinin təşkilini təkmilləşdirir.
4.Maqnetron Siklotron PECVD
Elektronların fırlanması üçün DC PECVD örtük kamerasının xaricində iki elektromaqnit rulonu quraşdırılıb ki, bu da elektronlarla qaz arasında toqquşma ehtimalını artırır və film təbəqəsindəki hissəciklərin dissosiasiya sürətini artırır.
5.ECR Mikrodalğalı PECVD
Üst və alt hissələrə iki elektromaqnit rulonu quraşdırılmış örtük kamerasının xaricində dissosiasiya sürətini artıra bilər.
6. Qövs İşıq Boşaldılması PECVD
Qövs boşaltma PECVD avadanlıq örtük kamerasında, iki elektromaqnit rulonunun yuxarı və aşağı quraşdırılması ətrafında, almaz filminin çökməsi, koaksial elektromaqnit sahəsi karbohidrogenlərin qaz ionlaşmasını stimullaşdırmaq üçün qövs elektron axınını döndərmək olar.
–Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük maşını istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Yazı vaxtı: 24 oktyabr 2023