machine de revêtement ionique à champ électromagnétique coaxial

1. Machine de revêtement ionique à cathode creuse et machine de revêtement ionique à arc à fil chaud

Le canon à cathode creuse et le canon à arc à fil chaud sont installés en haut de la chambre de revêtement, l'anode en bas, et deux bobines électromagnétiques sont installées en haut et en bas de la périphérie de la chambre. Le flux d'électrons de l'arc électrique se propage de haut en bas en décrivant une ligne spirale.

2. Aimant permanent et commande électromagnétique de la petite source à arc cathodique circulaire

La bobine électromagnétique accélère le point d'arc pour effectuer un mouvement rotatif sur la circonférence de la cible, ce qui réduit le temps de séjour du point d'arc sur la surface de la cible, diminue la surface du bain de fusion et affine l'organisation de la couche de film.

3. Source d'arc cathodique à double commande électromagnétique

La source d'arc cathodique est équipée de deux bobines électromagnétiques, ce qui améliore la vitesse de rotation du flux d'électrons et affine l'organisation de la couche de film.

4. Cyclotron magnétron PECVD

Deux bobines électromagnétiques sont installées à l'extérieur de la chambre de revêtement PECVD DC pour faire tourner les électrons, ce qui augmente la probabilité de collision entre les électrons et le gaz et améliore le taux de dissociation des particules dans la couche de film.

5. PECVD par micro-ondes ECR

Dans la chambre de revêtement extérieure, l'installation de deux bobines électromagnétiques supérieures et inférieures permet d'améliorer le taux de dissociation.

6. Dépôt chimique en phase vapeur assisté par arc électrique (PECVD)

Dans la chambre de revêtement de l'équipement PECVD à décharge d'arc, autour de l'installation supérieure et inférieure de deux bobines électromagnétiques, le dépôt d'un film de diamant, le champ électromagnétique coaxial peut faire tourner le flux d'électrons de l'arc pour stimuler l'ionisation gazeuse des hydrocarbures.

–Cet article est publié parfabricant de machines de revêtement sous videGuangdong Zhenhua