1. Mashiinka dahaarka ion-ka ee cathode-ka ee godka ah iyo mashiinka dahaarka ion-ka ee fiilada kulul
Qoriga cathode-ka godan iyo qoriga fiilada kulul ayaa lagu rakibay xagga sare ee qolka dahaadhka, anode-ka waxaa lagu rakibay xagga hoose, laba gariirad oo elektromagnetic ahna waxaa lagu rakibay xagga sare iyo xagga hoose ee qolka dahaadhka. Elektaroonka iftiinka qaansada ayaa ka soo qulqulaya xagga sare ilaa xagga hoose si uu u sameeyo dhaqdhaqaaq xariiqda wareegsan.
2. Magnet joogto ah iyo xakamaynta elektromagnetic ee isha qaansada yar ee wareegsan ee cathode
Xidhmada elektromagnetic-ka ayaa dardar gelisa goobta qaansada si ay u sameyso dhaqdhaqaaq wareeg ah oo ku wareegsan bartilmaameedka, taas oo yaraynaysa waqtiga degenaanshaha goobta qaansada ee dusha sare ee bartilmaameedka, waxay yareysaa aagga barkadda dhalaalaysa waxayna hagaajisaa qaab-dhismeedka lakabka filimka.
3. Ilo laba-geesood ah oo kontoroolka elektaroonigga ah ee katooliga ah
Isha qaansada cathodic waxay ku qalabaysan tahay laba gariirad elektromagnetic ah, taas oo hagaajinaysa xawaaraha wareegga ee socodka elektarooniga ah isla markaana hagaajinaysa qaab-dhismeedka lakabka filimka.
4. Magnetron Cyclotron PECVD
Laba gariirad oo elektromagnetic ah ayaa lagu rakibay meel ka baxsan qolka dahaarka DC PECVD si elektrooniyadu u wareegaan, taas oo kordhinaysa suurtagalnimada isku dhaca elektrooniyada iyo gaaska, waxayna hagaajinaysaa heerka kala-goynta walxaha ku jira lakabka filimka.
5.ECR Microwave PECVD
Qolka dahaarka ee ka baxsan qalabka lagu rakibay ee sare iyo kan hoose oo leh laba gariirad elektromagnetic ah, waxay hagaajin karaan heerka kala-goynta.
6. Daadinta Iftiinka Arc PECVD
Qolka dahaarka qalabka PECVD ee ku wareegsan rakibidda sare iyo hoose ee laba gariiradood oo elektromagnetic ah, dhigista filimka dheemanka, goobta elektaroonigga ah ee isku-xidhka ah waxaa lagu wareejin karaa qulqulka elektaroonigga qaansada si loo kiciyo ionization-ka gaaska ee hydrocarbons.
– Maqaalkan waxaa soo saaray ’’Qoraalkan waxaa soo saaray ’’soo saaraha mashiinka dahaadhka faakuumkaGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Oktoobar-24-2023