1. Ẹrọ ìbòrí katode oníhò àti ẹ̀rọ ìbòrí ion oníhò gbígbóná
A fi ibọn katode oníhò àti ibọn arc hot wire sí orí yàrá ìbòrí náà, a fi anode sí ìsàlẹ̀, a sì fi àwọn coil electromagnetic méjì sí òkè àti ìsàlẹ̀ ẹ̀gbẹ́ yàrá ìbòrí náà. Agbára electron iná arc ń ṣàn láti òkè dé ìsàlẹ̀ láti ṣe ìṣípo ìlà oníyípo.
2. Oofa titilai pẹlu iṣakoso itanna ti orisun aaki katode oniyika kekere
Ìsopọ̀ onínámọ́ná náà mú kí ibi tí a ń pè ní arc spot yára láti ṣe ìyípo yípo ibi tí a ń pè ní arcade náà, èyí tí ó dín àkókò tí a ń pè ní arc spot lórí ojú ibi tí a ń pè ní arcade kù, ó sì ń dín agbègbè adágún tí a ń pè ní yo ó sì ń mú kí fíìmù náà gbára dì.
3. Orisun aaki katodic iṣakoso itanna meji
Orísun arc cathodic náà ní àwọn coils oní-ẹ̀rọ-ìmọ́lẹ̀ méjì, èyí tí ó mú kí iyàrá yíyípo ti ìṣàn elekitironi sunwọ̀n síi, ó sì tún ṣe àtúnṣe sí ìṣètò ipele fíìmù náà.
4.Magnetron Cyclotron PECVD
A fi awọn okun onina meji sori ita iyẹwu ti a fi n bo DC PECVD lati jẹ ki awọn elekitironi naa yipo, eyi ti o mu ki iṣeeṣe ikọlu laarin awọn elekitironi ati gaasi pọ si, ati pe o mu iyara pipin ti awọn patikulu ninu fẹlẹfẹlẹ fiimu naa dara si.
5.ECR Makirowefu PECVD
Nínú yàrá ìbòrí tí a fi síta, a fi àwọn coils oní-ẹ̀rọ-ìmọ́lẹ̀ méjì sí òkè àti ìsàlẹ̀, a sì lè mú kí ìwọ̀n ìpínyà náà pọ̀ sí i.
6.Ìtújáde Ìmọ́lẹ̀ Arc PECVD
Nínú ìtújáde arc, yàrá ìbòrí ohun èlò PECVD yíká ìfisílẹ̀ òkè àti ìsàlẹ̀ ti àwọn coils electromagnetic méjì, ìfipamọ́ fíìmù diamond, a lè yí pápá electron coaxial padà láti mú kí ionization gaasi ti hydrocarbons ṣiṣẹ́.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹ̀wàá-24-2023