கோஆக்சியல் மின்காந்த புல வகை அயனி பூச்சு இயந்திரம்

1. உள்ளீடற்ற எதிர்மின்வாய் அயனிப் பூச்சு இயந்திரம் மற்றும் வெப்பக் கம்பி வில் அயனிப் பூச்சு இயந்திரம்

பூச்சு அறையின் மேற்புறத்தில் உள்ளீடற்ற எதிர்மின்வாய் துப்பாக்கியும், வெப்பக் கம்பி வில் துப்பாக்கியும் பொருத்தப்பட்டுள்ளன; கீழ்ப்புறத்தில் நேர்மின்வாய் பொருத்தப்பட்டுள்ளது; மேலும், பூச்சு அறையின் சுற்றளவின் மேற்புறத்திலும் கீழ்ப்புறத்திலும் இரண்டு மின்காந்தச் சுருள்கள் பொருத்தப்பட்டுள்ளன. வில்லின் ஒளி எலக்ட்ரான்கள் மேலிருந்து கீழ்ப்புறமாகப் பாய்ந்து சுருள் கோட்டு இயக்கத்தை மேற்கொள்கின்றன.

2. சிறிய வட்ட வடிவ எதிர்மின்வாய் வில் மூலத்தின் நிரந்தர காந்தம் மற்றும் மின்காந்தக் கட்டுப்பாடு

மின்காந்தச் சுருளானது, இலக்கின் சுற்றளவில் வில்புள்ளியைச் சுழற்சி இயக்கம் செய்ய முடுக்குகிறது. இது, இலக்கின் மேற்பரப்பில் வில்புள்ளி தங்கும் நேரத்தைக் குறைத்து, உருகிய குளத்தின் பரப்பளவைச் சுருக்கி, படல அடுக்கு அமைப்பைச் செம்மைப்படுத்துகிறது.

3. இரட்டை மின்காந்தக் கட்டுப்பாட்டு எதிர்மின் வில் மூலம்

கேத்தோடிக் வில் மூலமானது இரண்டு மின்காந்தச் சுருள்களைக் கொண்டுள்ளது, இது எலக்ட்ரான் ஓட்டத்தின் சுழற்சி வேகத்தை மேம்படுத்துவதோடு, படல அடுக்கு அமைப்பையும் செம்மைப்படுத்துகிறது.

4. மேக்னட்ரான் சைக்ளோட்ரான் PECVD

எலக்ட்ரான்களைச் சுழலச் செய்வதற்காக, DC PECVD பூச்சு அறைக்கு வெளியே இரண்டு மின்காந்தச் சுருள்கள் பொருத்தப்பட்டுள்ளன. இது எலக்ட்ரான்களுக்கும் வாயுவிற்கும் இடையிலான மோதல் நிகழ்தகவை அதிகரித்து, படல அடுக்கில் உள்ள துகள்களின் சிதைவு வீதத்தையும் மேம்படுத்துகிறது.

5.ECR மைக்ரோவேவ் PECVD

வெளிப்புறத்தில் உள்ள பூச்சு அறையில், மேல் மற்றும் கீழ் பகுதிகளில் இரண்டு மின்காந்தச் சுருள்கள் பொருத்தப்பட்டிருப்பதால், பிரிதல் வீதத்தை மேம்படுத்த முடியும்.

6. வில் ஒளி வெளியேற்றம் PECVD

வில் வெளியேற்ற PECVD உபகரணத்தின் பூச்சு அறையில், மேல் மற்றும் கீழ் பகுதிகளில் இரண்டு மின்காந்தச் சுருள்கள் பொருத்தப்பட்டு, வைரப் படலம் படியவைக்கப்படுகிறது. இதன்மூலம், மைய அச்சில் உள்ள மின்காந்தப் புலம், வில் எலக்ட்ரான் ஓட்டத்தைச் சுழற்றி, ஹைட்ரோகார்பன்களின் வாயு அயனியாக்கத்தைத் தூண்டுகிறது.

–இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா