동축 전자기장 방식 이온 코팅 장비

1. 중공 음극 이온 코팅기 및 열선 아크 이온 코팅기

코팅 챔버 상단에는 중공 음극 아크 건과 열선 아크 건이 설치되고, 하단에는 양극이 설치되며, 코팅 챔버의 상하부 둘레에는 각각 전자기 코일이 설치됩니다. 아크 광전자는 위에서 아래로 흐르면서 나선형 선을 그리며 이동합니다.

2. 영구 자석과 전자기 제어를 이용한 소형 원형 음극 아크 발생 장치

전자기 코일은 아크 스팟을 가속시켜 타겟의 원주를 따라 회전 운동을 하도록 함으로써 타겟 표면에서의 아크 스팟 체류 시간을 줄이고, 용융 풀의 면적을 감소시키며, 필름 층의 구조를 미세화합니다.

3. 이중 전자기 제어 음극 아크 발생기

음극 아크 발생기는 두 개의 전자기 코일을 갖추고 있어 전자 흐름의 회전 속도를 향상시키고 박막층의 구조를 더욱 정밀하게 만든다.

4. 마그네트론 사이클로트론 PECVD

DC PECVD 코팅 챔버 외부에 두 개의 전자기 코일을 설치하여 전자를 회전시킴으로써 전자와 기체 사이의 충돌 확률을 높이고 필름층 내 입자의 분리율을 향상시킵니다.

5. ECR 마이크로웨이브 PECVD

코팅 챔버 외부에는 상하부에 각각 두 개의 전자기 코일이 설치되어 있어 해리율을 향상시킬 수 있습니다.

6. 아크 방전 PECVD

아크 방전 PECVD 장비의 코팅 챔버 주변에는 상하로 두 개의 전자기 코일이 설치되어 있으며, 다이아몬드 박막 증착 시 동축 전자기장이 회전하는 아크 전자 흐름을 발생시켜 탄화수소의 가스 이온화를 자극합니다.

이 기사는 다음에서 발표했습니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화