១. ម៉ាស៊ីនស្រោបអ៊ីយ៉ុងកាតូតប្រហោង និងម៉ាស៊ីនស្រោបអ៊ីយ៉ុងធ្នូខ្សែក្តៅ
កាំភ្លើងកាតូតប្រហោង និងកាំភ្លើងធ្នូខ្សែក្តៅត្រូវបានដំឡើងនៅផ្នែកខាងលើនៃបន្ទប់ថ្នាំកូត អាណូតត្រូវបានដំឡើងនៅផ្នែកខាងក្រោម និងរបុំអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចពីរត្រូវបានដំឡើងនៅផ្នែកខាងលើ និងខាងក្រោមនៃបរិវេណបន្ទប់ថ្នាំកូត។ លំហូរអេឡិចត្រុងពន្លឺធ្នូពីកំពូលទៅបាតដើម្បីធ្វើចលនាខ្សែវង់។
2. មេដែកអចិន្ត្រៃយ៍បូកនឹងការគ្រប់គ្រងអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចនៃប្រភពធ្នូកាតូតរាងជារង្វង់តូច
របុំអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចបង្កើនល្បឿនចំណុចធ្នូឱ្យធ្វើចលនាបង្វិលនៅក្នុងបរិមាត្រនៃគោលដៅ ដែលកាត់បន្ថយពេលវេលាស្នាក់នៅរបស់ចំណុចធ្នូនៅលើផ្ទៃគោលដៅ កាត់បន្ថយផ្ទៃនៃអាងរលាយ និងកែលម្អការរៀបចំស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។
3. ប្រភពធ្នូកាតូដិចគ្រប់គ្រងអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចពីរ
ប្រភពធ្នូកាតូតត្រូវបានបំពាក់ដោយឧបករណ៍របុំអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចពីរ ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវល្បឿនបង្វិលនៃលំហូរអេឡិចត្រុង និងកែលម្អការរៀបចំស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។
៤. ម៉ាញេទិកស៊ីក្លូត្រុង PECVD
ខ្សែរបុំអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចពីរត្រូវបានដំឡើងនៅខាងក្រៅបន្ទប់ថ្នាំកូត DC PECVD ដើម្បីធ្វើឱ្យអេឡិចត្រុងបង្វិល ដែលបង្កើនប្រូបាប៊ីលីតេនៃការប៉ះទង្គិចគ្នារវាងអេឡិចត្រុង និងឧស្ម័ន និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវអត្រាបំបែកនៃភាគល្អិតនៅក្នុងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។
៥. មីក្រូវ៉េវ ECR PECVD
នៅក្នុងបន្ទប់ថ្នាំកូតនៅខាងក្រៅដែលបានដំឡើងផ្នែកខាងលើ និងខាងក្រោមជាមួយនឹងឧបករណ៍រំញ័រអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចពីរ អាចធ្វើអោយអត្រានៃការបំបែកខ្លួនប្រសើរឡើង។
៦. ការបញ្ចេញពន្លឺធ្នូ PECVD
នៅក្នុងបន្ទប់ថ្នាំកូតឧបករណ៍ PECVD ដែលមានការបញ្ចេញចរន្តអគ្គិសនីដោយធ្នូ នៅជុំវិញផ្នែកខាងលើ និងខាងក្រោម ការដំឡើងរបុំអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចពីរ ការដាក់ស្រទាប់ពេជ្រ ដែនអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិច coaxial អាចត្រូវបានបង្វិលដោយចរន្តអេឡិចត្រុងធ្នូ ដើម្បីជំរុញអ៊ីយ៉ូដឧស្ម័ននៃអ៊ីដ្រូកាបូន។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៤ ខែតុលា ឆ្នាំ ២០២៣