Mashine ya mipako ya ioni ya aina ya uwanja wa sumakuumeme wa Koaxial

1. Mashine ya mipako ya ioni ya kathodi yenye mashimo na mashine ya mipako ya ioni ya arc ya waya moto

Bunduki ya kathodi yenye mashimo na bunduki ya arc ya waya moto imewekwa juu ya chumba cha mipako, anode imewekwa chini, na koili mbili za sumakuumeme zimewekwa juu na chini ya pembezoni mwa chumba cha mipako. Elektroni ya mwanga wa arc hutiririka kutoka juu hadi chini ili kufanya harakati za mstari wa ond.

2. Sumaku ya kudumu pamoja na udhibiti wa sumakuumeme wa chanzo kidogo cha arc ya kathodi ya duara

Koili ya sumakuumeme huharakisha sehemu ya arc kufanya mwendo wa kuzunguka katika mzingo wa shabaha, ambayo hupunguza muda wa kukaa sehemu ya arc kwenye uso unaolengwa, hupunguza eneo la bwawa lililoyeyuka na kuboresha mpangilio wa safu ya filamu.

3. Chanzo cha arc ya kathodi ya udhibiti wa sumakuumeme mara mbili

Chanzo cha tao la kathodi kina vifaa vya koili mbili za sumakuumeme, ambavyo huboresha kasi ya mzunguko wa mtiririko wa elektroni na kuboresha mpangilio wa safu ya filamu.

4. Magnetron Cyclotron PECVD

Koili mbili za sumakuumeme zimewekwa nje ya chumba cha mipako cha DC PECVD ili kufanya elektroni zizunguke, jambo ambalo huongeza uwezekano wa mgongano kati ya elektroni na gesi, na kuboresha kiwango cha kutengana kwa chembe kwenye safu ya filamu.

5.ECR Microwave PECVD

Katika chumba cha mipako nje, sehemu ya juu na ya chini imewekwa na koili mbili za sumakuumeme, zinaweza kuboresha kiwango cha kutengana.

6. PECVD ya Kutoa Mwanga wa Arc

Katika chumba cha mipako ya vifaa vya PECVD kinachotoa tao kinachozunguka usakinishaji wa juu na chini wa koili mbili za sumakuumeme, utuaji wa filamu ya almasi, uwanja wa sumakuumeme wa koaxial unaweza kuzungushwa mtiririko wa elektroni za tao ili kuchochea ioni ya gesi ya hidrokaboni.

– Makala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua