1. Máquina de revestimento iônico por cátodo oco e máquina de revestimento iônico por arco de fio quente
O canhão de cátodo oco e o canhão de arco de fio quente são instalados na parte superior da câmara de revestimento, o ânodo é instalado na parte inferior e duas bobinas eletromagnéticas são instaladas na periferia superior e inferior da câmara de revestimento. O fluxo de elétrons da luz do arco de cima para baixo realiza um movimento espiral.
2. Ímã permanente mais controle eletromagnético da pequena fonte de arco catódico circular
A bobina eletromagnética acelera o ponto do arco para realizar um movimento rotativo na circunferência do alvo, o que reduz o tempo de permanência do ponto do arco na superfície do alvo, diminui a área da poça de fusão e refina a organização da camada do filme.
3. Fonte de arco catódico com controle eletromagnético duplo
A fonte de arco catódico está equipada com duas bobinas eletromagnéticas, o que melhora a velocidade de rotação do fluxo de elétrons e refina a organização das camadas do filme.
4. Magnetron Ciclotron PECVD
Duas bobinas eletromagnéticas são instaladas fora da câmara de revestimento DC PECVD para fazer os elétrons girarem, o que aumenta a probabilidade de colisão entre os elétrons e o gás e melhora a taxa de dissociação das partículas na camada do filme.
5. PECVD por micro-ondas ECR
Na câmara de revestimento, instaladas externamente, bobinas eletromagnéticas superiores e inferiores podem melhorar a taxa de dissociação.
6. Deposição Química de Vapor por Descarga Polar (PECVD)
Na câmara de revestimento do equipamento PECVD por descarga de arco, são instaladas duas bobinas eletromagnéticas, uma superior e outra inferior, para a deposição do filme de diamante. O campo eletromagnético coaxial pode girar o fluxo de elétrons do arco, estimulando a ionização dos hidrocarbonetos gasosos.
–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento a vácuoGuangdongZhenhua
Data da publicação: 24/10/2023