1. Içi boş katod ion örtük maşyny we gyzgyn simli ýaý ion örtük maşyny
Içi boş katod topy we gyzgyn simli ýaý topy örtük kamerasynyň ýokarky böleginde, anod aşaky böleginde we örtük kamerasynyň çetki böleginiň ýokarky we aşaky böleginde iki elektromagnit spiral oturdylýar. Spiral çyzyk hereketini amala aşyrmak üçin ýaý çyrasynyň elektrony ýokardan aşak akýar.
2. Kiçi tegelek katod ýaý çeşmesiniň hemişelik magnit we elektromagnit gözegçiligi
Elektromagnit spiral nyşanyň töwereginde aýlanýan hereketi amala aşyrmak üçin ýaý nokadyny çaltlaşdyrýar, bu bolsa ýaý nokadynyň nyşanyň ýüzünde galmak wagtyny azaldýar, ereýän howuzuň meýdanyny azaldýar we plýonka gatlagynyň gurluşyny gowulandyrýar.
3. Iki elektromagnit dolandyryşly katodik ýaý çeşmesi
Katod ýaý çeşmesi iki elektromagnit spiral bilen enjamlaşdyrylandyr, bu bolsa elektron akymynyň aýlanma tizligini ýokarlandyrýar we plýonka gatlagynyň guralyşyny kämilleşdirýär.
4.Magnetron Siklotron PECVD
Elektronlaryň aýlanmagy üçin DC PECVD örtük kamerasynyň daşynda iki elektromagnit spiral gurnalýar, bu bolsa elektronlar bilen gazyň arasyndaky çaknyşma ähtimallygyny ýokarlandyrýar we plýonka gatlagyndaky bölejikleriň dissosiasiýa tizligini ýokarlandyrýar.
5.ECR Mikrotolkunly PECVD
Daşarky örtük kamerasynda ýokarky we aşaky iki elektromagnit spiral bilen gurnalan örtük, dissosiasiýa tizligini ýokarlandyryp biler.
6. Ark Yşygynyň Çykmagy PECVD
Ýaý boşaltma PECVD enjamlarynyň ýokarky we aşaky gurnamasynyň töweregindäki örtük kamerasynda iki elektromagnit spiral, almaz plýonkasy ýerleşdirilip, koaksial elektromagnit meýdany uglewodorodlaryň gaz ionlaşmasyny höweslendirmek üçin ýaý elektron akymyny öwürmek arkaly amala aşyrylyp bilner.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 24-nji oktýabry