1. खोखले कैथोड आयन कोटिंग मशीन और हॉट वायर आर्क आयन कोटिंग मशीन
कोटिंग चैम्बर के शीर्ष पर हॉलो कैथोड गन और हॉट वायर आर्क गन स्थापित हैं, एनोड नीचे स्थापित है, और कोटिंग चैम्बर की परिधि के ऊपर और नीचे दो विद्युत चुम्बकीय कॉइल स्थापित हैं। आर्क प्रकाश इलेक्ट्रॉन ऊपर से नीचे की ओर सर्पिल रेखा गति करते हैं।
2. छोटे वृत्ताकार कैथोड आर्क स्रोत का स्थायी चुंबक और विद्युत चुम्बकीय नियंत्रण
विद्युत चुम्बकीय कॉइल आर्क स्पॉट को लक्ष्य की परिधि में घूर्णी गति करने के लिए त्वरित करता है, जिससे लक्ष्य की सतह पर आर्क स्पॉट का निवास समय कम हो जाता है, पिघले हुए पूल का क्षेत्रफल घट जाता है और फिल्म परत की संरचना परिष्कृत हो जाती है।
3. दोहरी विद्युत चुम्बकीय नियंत्रण कैथोडिक आर्क स्रोत
कैथोडिक आर्क स्रोत दो विद्युत चुम्बकीय कॉइल से सुसज्जित है, जो इलेक्ट्रॉन प्रवाह की घूर्णी गति को बढ़ाता है और फिल्म परत संगठन को परिष्कृत करता है।
4. मैग्नेट्रॉन साइक्लोट्रॉन पीईसीवीडी
डीसी पीईसीवीडी कोटिंग चैम्बर के बाहर दो विद्युत चुम्बकीय कॉइल लगाए गए हैं ताकि इलेक्ट्रॉनों को घुमाया जा सके, जिससे इलेक्ट्रॉनों और गैस के बीच टकराव की संभावना बढ़ जाती है और फिल्म परत में कणों के वियोजन की दर में सुधार होता है।
5. ईसीआर माइक्रोवेव पीईसीवीडी
कोटिंग कक्ष के बाहर ऊपरी और निचले हिस्से में दो विद्युत चुम्बकीय कॉइल लगाए गए हैं, जिससे विघटन दर में सुधार हो सकता है।
6. आर्क लाइट डिस्चार्ज पीईसीवीडी
आर्क डिस्चार्ज पीईसीवीडी उपकरण के कोटिंग कक्ष में, ऊपर और नीचे दो विद्युत चुम्बकीय कॉइल स्थापित करके, हीरे की फिल्म का निक्षेपण किया जाता है। समाक्षीय विद्युत चुम्बकीय क्षेत्र द्वारा उत्पन्न घूर्णनशील आर्क इलेक्ट्रॉन प्रवाह हाइड्रोकार्बन के गैस आयनीकरण को उत्तेजित करता है।
–यह लेख द्वारा प्रकाशित किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ
पोस्ट करने का समय: 24 अक्टूबर 2023