1. Mesin salutan ion katod berongga dan mesin salutan ion arka dawai panas
Pistol katod berongga dan pistol arka dawai panas dipasang di bahagian atas ruang salutan, anod dipasang di bahagian bawah, dan dua gegelung elektromagnet dipasang di bahagian atas dan bawah pinggir ruang salutan. Aliran elektron cahaya arka dari atas ke bawah untuk melakukan pergerakan garis lingkaran.
2. Magnet kekal serta kawalan elektromagnet bagi sumber arka katod bulat kecil
Gegelung elektromagnet memecut titik arka untuk melakukan pergerakan berputar dalam lilitan sasaran, yang mengurangkan masa kediaman titik arka pada permukaan sasaran, mengurangkan luas kolam lebur dan memperhalusi organisasi lapisan filem.
3. Sumber arka katodik kawalan elektromagnet berganda
Sumber arka katodik dilengkapi dengan dua gegelung elektromagnet, yang meningkatkan kelajuan putaran aliran elektron dan memperhalusi organisasi lapisan filem.
4. Magnetron Siklotron PECVD
Dua gegelung elektromagnet dipasang di luar ruang salutan PECVD DC untuk membuat elektron berputar, yang meningkatkan kebarangkalian perlanggaran antara elektron dan gas, dan meningkatkan kadar penceraian zarah dalam lapisan filem.
5. Ketuhar Gelombang Mikro ECR PECVD
Di dalam ruang salutan di luar, bahagian atas dan bawah dipasang dengan dua gegelung elektromagnet, yang boleh meningkatkan kadar penceraian.
6. Pelepasan Cahaya Arka PECVD
Dalam ruang salutan peralatan PECVD pelepasan arka di sekitar pemasangan atas dan bawah dua gegelung elektromagnet, pemendapan filem berlian, medan elektromagnet sepaksi boleh diputar aliran elektron arka untuk merangsang pengionan gas hidrokarbon.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: 24 Okt-2023