1. Macchina per rivestimento ionico a catodo cavo e macchina per rivestimento ionico ad arco di filo caldo
La pistola a catodo cavo e la pistola ad arco a filo caldo sono installate nella parte superiore della camera di rivestimento, l'anodo è installato nella parte inferiore e due bobine elettromagnetiche sono installate nella parte superiore e inferiore del perimetro della camera di rivestimento. Gli elettroni della luce dell'arco fluiscono dall'alto verso il basso creando un movimento a spirale.
2. Magnete permanente più controllo elettromagnetico della piccola sorgente ad arco catodico circolare
La bobina elettromagnetica accelera il punto dell'arco, inducendolo a compiere un movimento rotatorio lungo la circonferenza del bersaglio. Questo riduce il tempo di permanenza del punto dell'arco sulla superficie del bersaglio, diminuisce l'area del bagno di fusione e affina l'organizzazione dello strato di film.
3. Sorgente ad arco catodico a doppio controllo elettromagnetico
La sorgente ad arco catodico è dotata di due bobine elettromagnetiche, che migliorano la velocità di rotazione del flusso di elettroni e affinano l'organizzazione dello strato di film.
4. Magnetrone Ciclotrone PECVD
All'esterno della camera di rivestimento DC PECVD sono installate due bobine elettromagnetiche che fanno ruotare gli elettroni, aumentando così la probabilità di collisione tra gli elettroni e il gas e migliorando il tasso di dissociazione delle particelle nello strato di film.
5. PECVD a microonde ECR
Nella camera di rivestimento esterna, installata nella parte superiore e inferiore con due bobine elettromagnetiche, è possibile migliorare il tasso di dissociazione.
6. Scarica ad arco luminoso PECVD
Nella camera di rivestimento dell'apparecchiatura PECVD a scarica ad arco, attorno all'installazione superiore e inferiore di due bobine elettromagnetiche, durante la deposizione del film di diamante, il campo elettromagnetico coassiale può ruotare il flusso di elettroni dell'arco per stimolare l'ionizzazione del gas degli idrocarburi.
–Questo articolo è pubblicato daproduttore di macchine per rivestimento sottovuotoGuangdongZhenhua
Data di pubblicazione: 24 ottobre 2023