1. Makina nga pang-coat og hollow cathode ion ug makina nga pang-coat og hot wire arc ion
Ang hollow cathode gun ug hot wire arc gun gibutang sa ibabaw sa coating chamber, ang anode gibutang sa ubos, ug duha ka electromagnetic coil gibutang sa ibabaw ug ubos sa coating chamber periphery. Ang arc light electron moagos gikan sa ibabaw ngadto sa ubos aron mohimo og spiral line movement.
2. Permanenteng magnet ug electromagnetic control sa gamay nga lingin nga cathode arc source
Ang electromagnetic coil mopaspas sa arc spot aron mohimo og rotary movement sa palibot sa target, nga mopakunhod sa residence time sa arc spot sa ibabaw sa target, mopakunhod sa area sa molten pool ug mopino sa organisasyon sa film layer.
3. Dobleng electromagnetic control cathodic arc source
Ang cathodic arc source nasangkapan sa duha ka electromagnetic coils, nga nagpauswag sa rotational speed sa electron flow ug nagpino sa organisasyon sa film layer.
4.Magnetron Cyclotron PECVD
Duha ka electromagnetic coil ang gibutang sa gawas sa DC PECVD coating chamber aron motuyok ang mga electron, nga nagdugang sa posibilidad sa pagbangga tali sa mga electron ug gas, ug nagpauswag sa dissociation rate sa mga partikulo sa film layer.
5.ECR Microwave PECVD
Sa gawas sa coating chamber, ang ibabaw ug ubos nga bahin gi-install gamit ang duha ka electromagnetic coil, nga makapauswag sa dissociation rate.
6. Pagpagawas sa Kahayag sa Arc PECVD
Sa arc discharge PECVD equipment coating chamber sa palibot sa ibabaw ug ubos nga instalasyon sa duha ka electromagnetic coil, ang pagbutang sa diamond film, ang coaxial electromagnetic field mahimong i-rotate ang arc electron flow aron mapukaw ang gas ionization sa mga hydrocarbon.
–Kini nga artikulo gipagawas nitiggama og vacuum coating machineGuangdong Zhenhua
Oras sa pag-post: Oktubre-24-2023