1. Makinang pang-coating ng hollow cathode ion at makinang pang-coating ng hot wire arc ion
Ang hollow cathode gun at hot wire arc gun ay naka-install sa itaas ng coating chamber, ang anode ay naka-install sa ibaba, at dalawang electromagnetic coil ang naka-install sa itaas at ibaba ng coating chamber periphery. Ang arc light electron ay dumadaloy mula sa itaas hanggang sa ibaba upang magsagawa ng spiral line movement.
2. Permanenteng magnet kasama ang electromagnetic control ng maliit na pabilog na pinagmulan ng arko ng katod
Pinabibilis ng electromagnetic coil ang arc spot upang magsagawa ng rotary movement sa paligid ng target, na binabawasan ang residence time ng arc spot sa ibabaw ng target, binabawasan ang lawak ng tinunaw na pool at pinipino ang organisasyon ng film layer.
3.Dual electromagnetic control cathodic arc source
Ang pinagmumulan ng cathodic arc ay nilagyan ng dalawang electromagnetic coil, na nagpapabuti sa bilis ng pag-ikot ng daloy ng electron at pinino ang organisasyon ng film layer.
4. Magnetron Cyclotron PECVD
Dalawang electromagnetic coil ang naka-install sa labas ng DC PECVD coating chamber upang paikutin ang mga electron, na nagpapataas ng posibilidad ng banggaan sa pagitan ng mga electron at ng gas, at nagpapabuti sa dissociation rate ng mga particle sa film layer.
5.ECR Microwave PECVD
Sa labas ng silid ng patong, ang itaas at ibabang bahagi ay naka-install na may dalawang electromagnetic coil, na maaaring mapabuti ang rate ng paghihiwalay.
6. Paglabas ng Liwanag na Arc PECVD
Sa arc discharge PECVD equipment coating chamber sa paligid ng upper at lower installation ng dalawang electromagnetic coils, ang deposition ng diamond film, ang coaxial electromagnetic field ay maaaring paikutin ang arc electron flow upang pasiglahin ang gas ionization ng mga hydrocarbon.
–Inilabas ang artikulong ito nitagagawa ng vacuum coating machineGuangdong Zhenhua
Oras ng pag-post: Oktubre-24-2023