1. Мошини пӯшонидани ионии катоди холӣ ва мошини пӯшонидани ионии камони симии гарм
Туфангчаи катоди холӣ ва туфангчаи камонии симдор дар болои камераи рӯйпӯшкунӣ, анод дар поён ва ду печи электромагнитӣ дар боло ва поёни канори камераи рӯйпӯшкунӣ насб карда шудаанд. Электронҳои нури камон аз боло ба поён ҳаракат мекунанд, то ҳаракати спиралии хаттӣ анҷом дода шавад.
2. Магнитҳои доимӣ ва идоракунии электромагнитии манбаи камони хурди катоди даврашакл
Ғалтаки электромагнитӣ нуқтаи камонро барои анҷом додани ҳаракати гардиш дар атрофи ҳадаф суръат мебахшад, ки вақти будубоши нуқтаи камонро дар сатҳи ҳадаф кам мекунад, масоҳати ҳавзи гудохтаро кам мекунад ва сохтори қабати плёнкаро такмил медиҳад.
3. Манбаи камони катодии идоракунии дугонаи электромагнитӣ
Манбаи камони катодӣ бо ду печи электромагнитӣ муҷаҳҳаз шудааст, ки суръати гардиши ҷараёни электронро беҳтар мекунад ва ташкили қабати плёнкаро такмил медиҳад.
4.Магнетрон Циклотрон PECVD
Дар беруни камераи пӯшиши DC PECVD ду печи электромагнитӣ насб карда шудаанд, то электронҳо гардиш кунанд, ки эҳтимолияти бархӯрд байни электронҳо ва газро зиёд мекунад ва суръати диссотсиатсияи зарраҳоро дар қабати плёнка беҳтар мекунад.
5.ECR печи микроволновка PECVD
Дар камераи рӯйпӯши берунӣ, боло ва поён бо ду печи электромагнитӣ насб карда шудаанд, ки метавонанд суръати парокандагиро беҳтар кунанд.
6.PECVD-и ихроҷи нури камон
Дар камераи пӯшонидани таҷҳизоти PECVD бо разряди камон дар атрофи насби болоӣ ва поёнии ду печи электромагнитӣ, ҷойгиркунии плёнкаи алмосӣ, майдони электромагнитии коаксиалӣ метавонад ҷараёни электронҳои камонро барои ҳавасманд кардани ионизатсияи гази карбогидридҳо гардонад.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 24 октябри соли 2023