1. Көңдөй катод иондук каптоо машинасы жана ысык зым жаа иондук каптоо машинасы
Каптоо камерасынын үстүнкү бөлүгүнө көңдөй катод мылтыгы жана ысык зымдуу жаа мылтыгы, каптоо камерасынын астыңкы бөлүгүнө, ал эми каптоо камерасынын четинин үстүнкү жана астыңкы бөлүгүнө эки электромагниттик катушка орнотулган. Спираль сызыктуу кыймылды жасоо үчүн доға жарыгынын электрондору жогору жактан төмөн карай агып өтөт.
2. Туруктуу магнит жана кичинекей тегерек катоддук жаа булагын электромагниттик башкаруу
Электромагниттик катушка бута бетинде айлануучу кыймыл жасоо үчүн жаа тактарын тездетет, бул жаа тактарынын бута бетинде болуу убактысын кыскартат, эритилген көлмөнүн аянтын азайтат жана пленка катмарынын уюштурулушун жакшыртат.
3. Кош электромагниттик башкаруу катоддук жаа булагы
Катоддук жаа булагы эки электромагниттик катушка менен жабдылган, бул электрон агымынын айлануу ылдамдыгын жакшыртат жана пленка катмарынын уюштурулушун өркүндөтөт.
4. Магнетрондук циклотрон PECVD
Электрондордун айлануусу үчүн DC PECVD каптоо камерасынын сыртына эки электромагниттик катушка орнотулган, бул электрондор менен газдын кагылышуу ыктымалдыгын жогорулатат жана пленка катмарындагы бөлүкчөлөрдүн диссоциация ылдамдыгын жакшыртат.
5.ECR микротолкундуу меш PECVD
Сырткы каптоо камерасынын үстүнкү жана астыңкы бөлүктөрүнө эки электромагниттик катушка орнотулган, бул диссоциация ылдамдыгын жакшырта алат.
6.PECVD дого жарыгын разряддоо
PECVD жабдууларынын жаа разряддоо камерасында эки электромагниттик катушка орнотулуп, алмаз пленкасы төшөлүп, коаксиалдык электромагниттик талаа углеводороддордун газ иондоштурулушун стимулдаштыруу үчүн жаа электрон агымын айландырышы мүмкүн.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 24-октябры