1. Mīkini uhi ion cathode hollow a me ka mīkini uhi ion arc uea wela
Ua hoʻokomo ʻia ka pū cathode hakahaka a me ka pū arc uea wela ma luna o ke keʻena uhi, ua hoʻokomo ʻia ka anode ma lalo, a ua hoʻokomo ʻia ʻelua mau wili electromagnetic ma luna a me lalo o ka ʻaoʻao o ke keʻena uhi. Ke kahe nei ke electron māmā Arc mai luna a lalo e hana i ka neʻe ʻana o ka laina wili.
2. Mākēneki paʻa me ka mana electromagnetic o ke kumu arc cathode poepoe liʻiliʻi
Hoʻolalelale ka coil electromagnetic i kahi arc e hana i ka neʻe wili ma ke kaʻina o ka pahuhopu, kahi e hoʻemi ai i ka manawa noho o kahi arc ma ka ʻili o ka pahuhopu, e hoʻemi ana i ka ʻāpana o ka loko i hoʻoheheʻe ʻia a hoʻomaʻemaʻe i ka hoʻonohonoho ʻana o ka papa kiʻiʻoniʻoni.
3.Dual electromagnetic control cathodic arc source
Ua lako ka kumu arc cathodic me ʻelua mau wili electromagnetic, kahi e hoʻomaikaʻi ai i ka wikiwiki o ka wili ʻana o ke kahe electron a hoʻomaʻemaʻe i ka hoʻonohonoho ʻana o ka papa kiʻiʻoniʻoni.
4.Magnetron Cyclotron PECVD
Ua hoʻokomo ʻia ʻelua mau wili electromagnetic ma waho o ke keʻena uhi DC PECVD e hoʻohuli i nā electrons, kahi e hoʻonui ai i ka hiki ke kuʻi ma waena o nā electrons a me ke kinoea, a hoʻomaikaʻi i ka helu dissociation o nā ʻāpana i loko o ka papa kiʻiʻoniʻoni.
5.ECR Microwave PECVD
I loko o ke keʻena uhi ma waho o ka mea i hoʻokomo ʻia ma luna a me lalo me ʻelua mau wili electromagnetic, hiki ke hoʻomaikaʻi i ka helu dissociation.
6. Hoʻokuʻu Mālamalama Arc PECVD
I loko o ke keʻena uhi lako PECVD a puni ka hoʻokomo ʻana o nā wili electromagnetic ʻelua a puni ka luna a me lalo, ka waiho ʻana o ka ʻili daimana, hiki ke hoʻohuli ʻia ke kahua electromagnetic coaxial i ke kahe electron arc e hoʻoulu ai i ka ionization kinoea o nā hydrocarbons.
–Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala emea hana mīkini uhi hakahakaGuangdong Zhenhua
Ka manawa hoʻouna: ʻOkakopa-24-2023