1. Установка для ионного нанесения покрытий с полым катодом и установка для ионного нанесения покрытий методом дугового разряда горячей проволокой.
Электроды с полым катодом и дуговые горелки с горячей проволокой установлены в верхней части камеры нанесения покрытия, анод — в нижней части, а две электромагнитные катушки — в верхней и нижней части по периметру камеры. Электроны дугового разряда движутся сверху вниз, образуя спиральную линию.
2. Постоянный магнит и электромагнитное управление источником малой круглой катодной дуги.
Электромагнитная катушка ускоряет дуговое пятно, заставляя его совершать вращательное движение по окружности мишени, что сокращает время пребывания дугового пятна на поверхности мишени, уменьшает площадь расплавленной ванны и улучшает организацию пленочного слоя.
3. Двойной источник катодной дуги с электромагнитным управлением
Источник катодной дуги оснащен двумя электромагнитными катушками, что повышает скорость вращения потока электронов и улучшает организацию пленочного слоя.
4. Магнетрон-циклотронное PECVD-электрохимическое осаждение
Две электромагнитные катушки установлены снаружи камеры для нанесения покрытия методом PECVD постоянного тока, чтобы заставить электроны вращаться, что увеличивает вероятность столкновения электронов с газом и повышает скорость диссоциации частиц в пленочном слое.
5.ECR Микроволновая PECVD
Вне камеры нанесения покрытия установлены верхняя и нижняя части с двумя электромагнитными катушками, что позволяет повысить скорость диссоциации.
6. Дуговой светоразрядный PECVD
В камере нанесения покрытия с использованием дугового разряда PECVD вокруг верхней и нижней установок установлены две электромагнитные катушки, происходит осаждение алмазной пленки, при этом коаксиальное электромагнитное поле может вращать поток электронов дуги, стимулируя ионизацию углеводородов в газе.
– Данная статья опубликованапроизводитель вакуумных напыляемых машинГуандун Чжэньхуа
Дата публикации: 24 октября 2023 г.