1. Holle kathode-ionencoatingmachine en hete draadboog-ionencoatingmachine
Het holle kathodepistool en het gloeidraadpistool zijn bovenin de coatingkamer geïnstalleerd, de anode bevindt zich onderin en twee elektromagnetische spoelen zijn aan de boven- en onderkant van de coatingkamer gemonteerd. De elektronenstroom van het booglicht beweegt van boven naar beneden in een spiraalvormige lijn.
2. Permanente magneet plus elektromagnetische besturing van de kleine cirkelvormige kathodeboogbron
De elektromagnetische spoel versnelt de boogvlek, waardoor deze een roterende beweging maakt rond de omtrek van het doeloppervlak. Dit verkort de verblijftijd van de boogvlek op het doeloppervlak, verkleint het oppervlak van het smeltbad en verbetert de structuur van de filmlaag.
3. Dubbele elektromagnetische gestuurde kathodische boogbron
De kathodische boogbron is uitgerust met twee elektromagnetische spoelen, die de rotatiesnelheid van de elektronenstroom verhogen en de structuur van de filmlaag verfijnen.
4. Magnetron-cyclotron PECVD
Aan de buitenkant van de DC PECVD-coatingkamer zijn twee elektromagnetische spoelen geïnstalleerd om de elektronen te laten roteren. Dit verhoogt de kans op botsingen tussen de elektronen en het gas, en verbetert de dissociatiesnelheid van de deeltjes in de filmlaag.
5. ECR-microgolf-PECVD
In de coatingkamer, buiten de geïnstalleerde boven- en onderkant, kunnen twee elektromagnetische spoelen de dissociatiesnelheid verbeteren.
6. Boogontlading PECVD
In de coatingkamer van de boogontladings-PECVD-apparatuur, rondom de boven- en onderkant van de installatie van twee elektromagnetische spoelen, wordt een diamantfilm afgezet. Het coaxiale elektromagnetische veld kan de elektronenstroom in de boog roteren om de gasionisatie van koolwaterstoffen te stimuleren.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua
Geplaatst op: 24 oktober 2023