1. Mesin pelapisan ion katoda berongga lan mesin pelapisan ion busur kawat panas
Pistol katoda kothong lan pistol busur kawat panas dipasang ing sisih ndhuwur ruang lapisan, anoda dipasang ing sisih ngisor, lan rong kumparan elektromagnetik dipasang ing sisih ndhuwur lan ngisor pinggiran ruang lapisan. Aliran elektron cahya busur saka ndhuwur menyang ngisor kanggo nindakake gerakan garis spiral.
2. Magnet permanen ditambah kontrol elektromagnetik saka sumber busur katoda bunder cilik
Koil elektromagnetik nyepetake titik busur kanggo nindakake gerakan putar ing keliling target, sing nyuda wektu panggonan titik busur ing permukaan target, nyuda area blumbang cair lan nyaring organisasi lapisan film.
3. Sumber busur katodik kontrol elektromagnetik ganda
Sumber busur katodik dilengkapi rong kumparan elektromagnetik, sing ningkatake kecepatan rotasi aliran elektron lan nyaring organisasi lapisan film.
4. Magnetron Siklotron PECVD
Rong kumparan elektromagnetik dipasang ing njaba ruang lapisan PECVD DC kanggo nggawe elektron muter, sing nambah kemungkinan tabrakan antarane elektron lan gas, lan nambah tingkat disosiasi partikel ing lapisan film.
5.ECR Microwave PECVD
Ing ruang lapisan njaba sing dipasang ing sisih ndhuwur lan ngisor nganggo rong kumparan elektromagnetik, bisa nambah tingkat disosiasi.
6. Pelepasan Cahya Busur PECVD
Ing ruang lapisan peralatan PECVD sing ngeculake busur ing sekitar instalasi ndhuwur lan ngisor saka rong kumparan elektromagnetik, deposisi film berlian, medan elektromagnetik koaksial bisa diputer aliran elektron busur kanggo ngrangsang ionisasi gas hidrokarbon.
-Artikel iki diterbitake deningprodusen mesin lapisan vakumGuangdong Zhenhua
Wektu kiriman: 24 Okt-2023