1. Maszyna do powlekania jonowego katodą wnękową i maszyna do powlekania jonowego łukiem elektrycznym z gorącym drutem
Działo z katodą wnękową i działo łukowe z gorącym drutem są zainstalowane u góry komory powlekania, anoda u dołu, a dwie cewki elektromagnetyczne u góry i u dołu obwodu komory powlekania. Elektrony światła łukowego przepływają z góry do dołu, tworząc ruch spiralny.
2. Magnes trwały i sterowanie elektromagnetyczne małym łukiem katodowym o kształcie okręgu
Cewka elektromagnetyczna przyspiesza łuk elektryczny, aby wykonać ruch obrotowy wokół obwodu tarczy, co skraca czas przebywania łuku elektrycznego na powierzchni tarczy, zmniejsza powierzchnię jeziorka stopionego materiału i poprawia organizację warstwy filmu.
3. Podwójne źródło łuku katodowego ze sterowaniem elektromagnetycznym
Źródło łuku katodowego wyposażone jest w dwie cewki elektromagnetyczne, co zwiększa prędkość obrotową przepływu elektronów i udoskonala organizację warstwy filmu.
4. Magnetronowy cyklotron PECVD
Na zewnątrz komory powlekania DC PECVD zamontowano dwie cewki elektromagnetyczne, które wprawiają elektrony w ruch obrotowy, co zwiększa prawdopodobieństwo zderzenia elektronów z gazem i poprawia szybkość dysocjacji cząstek w warstwie filmu.
5.ECR Mikrofalowy PECVD
W komorze powlekania na zewnątrz zainstalowano górną i dolną cewkę z dwiema cewkami elektromagnetycznymi, co pozwala na zwiększenie szybkości dysocjacji.
6. Wyładowanie łukiem elektrycznym PECVD
W komorze powlekania urządzenia łukowego PECVD, wokół górnej i dolnej instalacji dwóch cewek elektromagnetycznych, następuje osadzanie filmu diamentowego, a współosiowe pole elektromagnetyczne może obracać się wokół łuku, powodując przepływ elektronów w celu stymulacji jonizacji gazowej węglowodorów.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 24-10-2023