1. Хөндий катодын ионы бүрэх машин болон халуун утсан нуман ионы бүрэх машин
Хөндий катодын буу болон халуун утсан нуман бууг бүрхүүлийн камерын дээд хэсэгт, анодыг доод хэсэгт, хоёр цахилгаан соронзон ороомог нь бүрхүүлийн камерын захын дээд ба доод хэсэгт суурилуулсан. Нуман гэрлийн электронууд дээрээс доош урсаж, спираль шугамын хөдөлгөөнийг хийдэг.
2. Байнгын соронзон болон жижиг дугуй катодын нуман эх үүсвэрийн цахилгаан соронзон удирдлага
Цахилгаан соронзон ороомог нь нуман цэгийг хурдасгаж, байны тойрог дээр эргэлдэх хөдөлгөөн хийдэг бөгөөд энэ нь нуман цэгийн байны гадаргуу дээр байх хугацааг багасгаж, хайлсан цөөрмийн талбайг багасгаж, хальсан давхаргын зохион байгуулалтыг сайжруулдаг.
3. Хос цахилгаан соронзон удирдлагатай катодын нуман эх үүсвэр
Катодын нуман эх үүсвэр нь хоёр цахилгаан соронзон ороомогоор тоноглогдсон бөгөөд энэ нь электрон урсгалын эргэлтийн хурдыг сайжруулж, хальсан давхаргын зохион байгуулалтыг сайжруулдаг.
4. Магнетрон Циклотрон PECVD
Электронуудыг эргүүлэхийн тулд DC PECVD бүрхүүлийн камерын гадна талд хоёр цахилгаан соронзон ороомог суурилуулсан бөгөөд энэ нь электрон ба хийн хоорондох мөргөлдөөний магадлалыг нэмэгдүүлж, хальсан давхарга дахь бөөмсийн диссоциацийн хурдыг сайжруулдаг.
5.ECR Бичил долгионы зуухны PECVD
Гаднах бүрхүүлийн камерт дээд ба доод хэсэгт хоёр цахилгаан соронзон ороомог суурилуулсан нь диссоциацийн хурдыг сайжруулж чадна.
6. Нуман гэрлийн цэнэг алдалт PECVD
Нуман цэнэглэх PECVD тоног төхөөрөмжийн бүрхүүлийн камерт дээд ба доод суурилуулалтын эргэн тойронд хоёр цахилгаан соронзон ороомог байрлуулж, алмазан хальс түрхэж, коаксиаль цахилгаан соронзон орон дээр нуман электрон урсгалыг эргүүлж, нүүрсустөрөгчийн хийн ионжуулалтыг идэвхжүүлж болно.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 10-р сарын 24