1. Mesin pelapis ion katoda berongga dan mesin pelapis ion busur kawat panas
Pistol katoda berongga dan pistol busur kawat panas dipasang di bagian atas ruang pelapisan, anoda dipasang di bagian bawah, dan dua kumparan elektromagnetik dipasang di bagian atas dan bawah sekeliling ruang pelapisan. Elektron cahaya busur mengalir dari atas ke bawah untuk melakukan gerakan garis spiral.
2. Magnet permanen ditambah kontrol elektromagnetik dari sumber busur katoda melingkar kecil
Kumparan elektromagnetik mempercepat titik busur untuk melakukan gerakan berputar di sekeliling target, yang mengurangi waktu tinggal titik busur pada permukaan target, mengurangi luas kolam lelehan, dan memperbaiki susunan lapisan film.
3. Sumber busur katodik kontrol elektromagnetik ganda
Sumber busur katodik dilengkapi dengan dua kumparan elektromagnetik, yang meningkatkan kecepatan rotasi aliran elektron dan menyempurnakan susunan lapisan film.
4. Magnetron Siklotron PECVD
Dua kumparan elektromagnetik dipasang di luar ruang pelapisan DC PECVD untuk membuat elektron berputar, yang meningkatkan probabilitas tumbukan antara elektron dan gas, serta meningkatkan laju disosiasi partikel dalam lapisan film.
5.ECR Microwave PECVD
Di ruang pelapisan bagian luar yang dipasang dua kumparan elektromagnetik di bagian atas dan bawah, dapat meningkatkan laju disosiasi.
6. Pelepasan Cahaya Busur PECVD
Dalam ruang pelapisan peralatan PECVD pelepasan busur listrik, di sekitar bagian atas dan bawah dipasang dua kumparan elektromagnetik, pengendapan lapisan intan dilakukan. Medan elektromagnetik koaksial dapat memutar aliran elektron busur untuk merangsang ionisasi gas hidrokarbon.
–Artikel ini dirilis olehprodusen mesin pelapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktu posting: 24 Oktober 2023