ኮአክሲያል ኤሌክትሮማግኔቲክ መስክ አይነት አዮን ሽፋን ማሽን

1. ባዶ የካቶድ አዮን ሽፋን ማሽን እና የሙቅ ሽቦ አርክ አዮን ሽፋን ማሽን

ባዶው የካቶድ ሽጉጥ እና የሙቅ ሽቦ ቅስት ሽጉጥ በሽፋን ክፍሉ አናት ላይ ተጭነዋል፣ አኖዱ ከታች ተጭኗል፣ እና ሁለት የኤሌክትሮማግኔቲክ ኮይሎች በሽፋን ክፍሉ ዳርቻ ላይ እና ታች ላይ ተጭነዋል። የሽክርክሪት መስመር እንቅስቃሴን ለማድረግ የአርክ ብርሃን ኤሌክትሮን ከላይ ወደ ታች ይፈስሳል።

2. ቋሚ ማግኔት እና የትንሽ ክብ ካቶድ ቅስት ምንጭ ኤሌክትሮማግኔቲክ ቁጥጥር

የኤሌክትሮማግኔቲክ ኮይል በዒላማው ዙሪያ ዙሪያ የሚሽከረከር እንቅስቃሴ ለማድረግ የአርክ ቦታውን ያፋጥናል፣ ይህም በዒላማው ወለል ላይ ያለውን የአርክ ቦታ የመቆየት ጊዜን ይቀንሳል፣ የቀለጠውን ገንዳ ስፋት ይቀንሳል እና የፊልም ንብርብር አደረጃጀትን ያሻሽላል።

3. ባለሁለት ኤሌክትሮማግኔቲክ መቆጣጠሪያ ካቶዲክ ቅስት ምንጭ

የካቶዲክ ቅስት ምንጭ ሁለት የኤሌክትሮማግኔቲክ ኮይሎች የተገጠመለት ሲሆን ይህም የኤሌክትሮን ፍሰት የማሽከርከር ፍጥነትን ያሻሽላል እና የፊልም ንብርብር አደረጃጀትን ያሻሽላል።

4. ማግኔትሮን ሳይክሎሮን PECVD

ኤሌክትሮኖቹ እንዲሽከረከሩ ለማድረግ ሁለት የኤሌክትሮማግኔቲክ ኮይሎች ከዲሲ PECVD ሽፋን ክፍል ውጭ ተጭነዋል፣ ይህም በኤሌክትሮኖች እና በጋዝ መካከል የመጋጨት እድልን ይጨምራል፣ እና በፊልም ንብርብር ውስጥ ያሉትን ቅንጣቶች የመከፋፈል ፍጥነት ያሻሽላል።

5.ECR ማይክሮዌቭ PECVD

በላይኛው እና በታችኛው ሽፋን ክፍል ውስጥ በሁለት ኤሌክትሮማግኔቲክ ሽቦዎች ተጭኗል፣ የመከፋፈል ፍጥነትን ማሻሻል ይችላል።

6.Arc Light Discharge PECVD

በአርክ ፈሳሽ PECVD መሳሪያዎች ሽፋን ክፍል ውስጥ ሁለት የኤሌክትሮማግኔቲክ ኮይሎች የላይኛው እና የታችኛው ጭነት ዙሪያ፣ የአልማዝ ፊልም ክምችት፣ የኮአክሲያል ኤሌክትሮማግኔቲክ መስክ የሃይድሮካርቦኖችን የጋዝ አዮኒዜሽን ለማነቃቃት በቅስት ኤሌክትሮን ፍሰት ሊሽከረከር ይችላል።

- ይህ ጽሑፍ የወጣው በየቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ