కోయాక్సియల్ విద్యుదయస్కాంత క్షేత్ర రకం అయాన్ కోటింగ్ యంత్రం

1. హాలో కాథోడ్ అయాన్ కోటింగ్ మెషిన్ మరియు హాట్ వైర్ ఆర్క్ అయాన్ కోటింగ్ మెషిన్

కోటింగ్ ఛాంబర్ పైభాగంలో హోలో కాథోడ్ గన్ మరియు హాట్ వైర్ ఆర్క్ గన్ అమర్చబడి ఉంటాయి, దిగువన ఆనోడ్ అమర్చబడి ఉంటుంది, మరియు కోటింగ్ ఛాంబర్ పరిధి యొక్క పై మరియు దిగువ భాగాలలో రెండు విద్యుదయస్కాంత కాయిల్స్ అమర్చబడి ఉంటాయి. ఆర్క్ కాంతి ఎలక్ట్రాన్లు పై నుండి క్రిందికి ప్రవహించి సర్పిలాకార రేఖ కదలికను చేస్తాయి.

2. శాశ్వత అయస్కాంతం మరియు చిన్న వృత్తాకార కాథోడ్ ఆర్క్ మూలం యొక్క విద్యుదయస్కాంత నియంత్రణ

విద్యుదయస్కాంత కాయిల్ ఆర్క్ స్పాట్‌ను లక్ష్యం యొక్క చుట్టుకొలతలో భ్రమణ చలనం చేయడానికి వేగవంతం చేస్తుంది, ఇది లక్ష్య ఉపరితలంపై ఆర్క్ స్పాట్ యొక్క నివాస సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది, కరిగిన పూల్ యొక్క వైశాల్యాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు ఫిల్మ్ పొర యొక్క నిర్మాణాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.

3. ద్వంద్వ విద్యుదయస్కాంత నియంత్రణ కాథోడిక్ ఆర్క్ మూలం

కాథోడిక్ ఆర్క్ సోర్స్‌లో రెండు విద్యుదయస్కాంత కాయిల్స్ అమర్చబడి ఉంటాయి, ఇవి ఎలక్ట్రాన్ ప్రవాహం యొక్క భ్రమణ వేగాన్ని మెరుగుపరిచి, ఫిల్మ్ పొర యొక్క అమరికను శుద్ధి చేస్తాయి.

4. మాగ్నెట్రాన్ సైక్లోట్రాన్ PECVD

ఎలక్ట్రాన్‌లను తిప్పడానికి DC PECVD కోటింగ్ ఛాంబర్ వెలుపల రెండు విద్యుదయస్కాంత కాయిల్స్ అమర్చబడతాయి, ఇది ఎలక్ట్రాన్‌లు మరియు వాయువు మధ్య ఢీకొనే సంభావ్యతను పెంచుతుంది మరియు ఫిల్మ్ పొరలోని కణాల విచ్ఛేదన రేటును మెరుగుపరుస్తుంది.

5.ECR మైక్రోవేవ్ PECVD

కోటింగ్ ఛాంబర్ వెలుపల, పై మరియు కింద రెండు విద్యుదయస్కాంత కాయిల్స్‌ను అమర్చడం ద్వారా విఘటన రేటును మెరుగుపరచవచ్చు.

6. ఆర్క్ లైట్ డిశ్చార్జ్ PECVD

ఆర్క్ డిశ్చార్జ్ PECVD పరికరంలోని కోటింగ్ ఛాంబర్‌లో, పై మరియు దిగువ భాగాలలో అమర్చిన రెండు విద్యుదయస్కాంత కాయిల్స్ చుట్టూ వజ్రపు పొరను నిక్షేపిస్తారు. ఏకకేంద్రక విద్యుదయస్కాంత క్షేత్రం, హైడ్రోకార్బన్‌ల వాయు అయనీకరణను ప్రేరేపించడానికి ఆర్క్ ఎలక్ట్రాన్ ప్రవాహాన్ని తిప్పగలదు.

–ఈ వ్యాసం విడుదల చేసిందివాక్యూమ్ కోటింగ్ మెషిన్ తయారీదారుగ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా