1. Bo'sh katodli ion qoplama mashinasi va issiq simli yoyli ion qoplama mashinasi
Qoplama kamerasining yuqori qismiga ichi bo'sh katodli qurol va issiq simli yoyli qurol, pastki qismga anod va qoplama kamerasining yuqori va pastki qismiga ikkita elektromagnit bobin o'rnatilgan. Yoyli yorug'lik elektroni spiral chiziqli harakatni amalga oshirish uchun yuqoridan pastga qarab oqadi.
2. Doimiy magnit va kichik dumaloq katod yoy manbasini elektromagnit boshqarish
Elektromagnit bobin nishon atrofida aylanish harakatini amalga oshirish uchun yoy nuqtasini tezlashtiradi, bu esa yoy nuqtasining nishon yuzasida qolish vaqtini qisqartiradi, erigan hovuz maydonini kamaytiradi va plyonka qatlamining tuzilishini yaxshilaydi.
3. Ikki elektromagnit boshqaruv katodik yoy manbai
Katod yoy manbai ikkita elektromagnit bobin bilan jihozlangan, bu elektron oqimining aylanish tezligini yaxshilaydi va plyonka qatlamining tashkil etilishini yaxshilaydi.
4. Magnetron Siklotron PECVD
Elektronlarning aylanishini ta'minlash uchun DC PECVD qoplama kamerasining tashqarisida ikkita elektromagnit bobin o'rnatilgan, bu esa elektronlar va gaz o'rtasidagi to'qnashuv ehtimolini oshiradi va plyonka qatlamidagi zarrachalarning dissotsiatsiya tezligini yaxshilaydi.
5.ECR Mikroto'lqinli PECVD
Qoplama kamerasining tashqi tomoniga ikkita elektromagnit bobin o'rnatilgan bo'lib, ustki va pastki qismlarga dissotsiatsiya tezligini oshirishi mumkin.
6. Ark yorug'lik zaryadsizlanishi PECVD
Yuqori va pastki o'rnatish atrofidagi yoyli tushirish PECVD uskunasining qoplama kamerasida ikkita elektromagnit bobinlar, olmos plyonkasi qo'yilgan, koaksial elektromagnit maydon uglevodorodlarning gaz ionlanishini rag'batlantirish uchun yoyli elektron oqimini aylantirishi mumkin.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Nashr vaqti: 2023-yil 24-oktabr