1. Mesin palapis ion katoda berongga sareng mesin palapis ion busur kawat panas
Bedil katoda berongga sareng bedil busur kawat panas dipasang di luhur ruang palapis, anoda dipasang di handap, sareng dua kumparan éléktromagnétik dipasang di luhur sareng handap pinggiran ruang palapis. Aliran éléktron busur cahaya ti luhur ka handap pikeun ngalakukeun gerakan garis spiral.
2. Magnet permanén ditambah kontrol éléktromagnétik tina sumber busur katoda bunderan leutik
Kumparan éléktromagnétik ngagancangkeun titik busur pikeun ngalakukeun gerakan puteran dina keliling target, anu ngirangan waktos cicingna titik busur dina permukaan target, ngirangan daérah kolam cair sareng ngahalusan organisasi lapisan pilem.
3. Sumber busur katodik kontrol éléktromagnétik ganda
Sumber busur katodik dilengkepan ku dua kumparan éléktromagnétik, anu ningkatkeun kecepatan rotasi aliran éléktron sareng ngasah organisasi lapisan pilem.
4. Magnetron Siklotron PECVD
Dua kumparan éléktromagnétik dipasang di luar rohangan palapis DC PECVD pikeun muterkeun éléktron, anu ningkatkeun kamungkinan tabrakan antara éléktron sareng gas, sareng ningkatkeun laju disosiasi partikel dina lapisan pilem.
5.ECR Microwave PECVD
Dina rohangan palapis di luar dipasang bagian luhur sareng handap ku dua kumparan éléktromagnétik, tiasa ningkatkeun laju disosiasi.
6. Panyaluran Cahaya Busur PECVD
Dina rohangan palapis alat PECVD anu ngaluarkeun busur di sakitar pamasangan luhur sareng handap dua kumparan éléktromagnétik, déposisi pilem inten, médan éléktromagnétik koaksial tiasa diputer aliran éléktron busur pikeun ngarangsang ionisasi gas hidrokarbon.
–Tulisan ieu dipedalkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktos posting: 24-Okt-2023