Máy phủ ion kiểu trường điện từ đồng trục

1. Máy phủ ion catốt rỗng và máy phủ ion hồ quang dây nóng

Súng catốt rỗng và súng hồ quang dây nóng được lắp đặt ở phía trên buồng phủ, cực dương được lắp đặt ở phía dưới, và hai cuộn dây điện từ được lắp đặt ở phía trên và phía dưới chu vi buồng phủ. Dòng electron của hồ quang chảy từ trên xuống dưới tạo thành chuyển động xoắn ốc.

2. Nam châm vĩnh cửu cộng với điều khiển điện từ của nguồn hồ quang catốt tròn nhỏ

Cuộn dây điện từ gia tốc điểm hồ quang để thực hiện chuyển động quay quanh chu vi của mục tiêu, làm giảm thời gian lưu trú của điểm hồ quang trên bề mặt mục tiêu, giảm diện tích vũng nóng chảy và cải thiện cấu trúc lớp màng.

3. Nguồn hồ quang catốt điều khiển điện từ kép

Nguồn hồ quang catốt được trang bị hai cuộn dây điện từ, giúp cải thiện tốc độ quay của dòng electron và tinh chỉnh cấu trúc lớp màng.

4. Magnetron Cyclotron PECVD

Hai cuộn dây điện từ được lắp đặt bên ngoài buồng phủ DC PECVD để làm cho các electron quay, điều này làm tăng xác suất va chạm giữa các electron và khí, và cải thiện tỷ lệ phân ly của các hạt trong lớp màng.

5. ECR PECVD vi sóng

Bên ngoài buồng phủ, việc lắp đặt hai cuộn dây điện từ ở phía trên và phía dưới có thể cải thiện tỷ lệ phân ly.

6. PECVD phóng điện hồ quang

Trong thiết bị PECVD phóng điện hồ quang, buồng phủ được lắp đặt hai cuộn dây điện từ ở phía trên và phía dưới để lắng đọng màng kim cương. Trường điện từ đồng trục có thể xoay dòng electron hồ quang để kích thích sự ion hóa khí của hydrocarbon.

–Bài viết này được phát hành bởiNhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa