1. 中空陰極イオンコーティング装置および熱線アークイオンコーティング装置
中空陰極銃と熱線アーク銃はコーティング室の上部に設置され、陽極は下部に設置され、2つの電磁コイルがコーティング室の外周の上部と下部に設置されている。アーク光電子は上部から下部へ流れ、螺旋状の線運動を行う。
2. 永久磁石と電磁制御による小型円形陰極アーク源
電磁コイルはアークスポットを加速させ、ターゲットの円周上で回転運動させることで、ターゲット表面におけるアークスポットの滞留時間を短縮し、溶融池の面積を縮小し、膜層構造を微細化する。
3. 二重電磁制御式陰極アーク源
陰極アーク源には2つの電磁コイルが装備されており、これにより電子の流れの回転速度が向上し、膜層の構造がより精緻化される。
4.マグネトロンサイクロトロンPECVD
DC PECVDコーティングチャンバーの外側に2つの電磁コイルを設置し、電子を回転させることで、電子とガスとの衝突確率を高め、膜層内の粒子の解離率を向上させる。
5. ECRマイクロ波PECVD
コーティングチャンバーの外側に上下に2つの電磁コイルを設置することで、解離速度を向上させることができる。
6.アーク光放電PECVD
アーク放電PECVD装置の成膜室では、上下に2つの電磁コイルが設置されており、ダイヤモンド膜を成膜する際に、同軸電磁場が回転アーク電子流を発生させ、炭化水素のガスイオン化を促進する。
–この記事は以下によって公開されています真空コーティング機メーカー広東振華
投稿日時：2023年10月24日